公开(公告)号：CN111010871A

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201880017487.0

申请日：2018-03-15

Applicant: 分子印记公司

Inventor： 张杰 ,  C·卑路斯 ,  R·M·帕特森 ,  M·S·沙夫兰 ,  C·J·福莱肯斯坦 ,  C·S·卡登

IPC: B29C59/02 ,  B29C35/08 ,  B29C43/04 ,  B29C43/58 ,  G03F7/26

Abstract: 示例性系统构造成将可光固化材料光固化以形成聚合物膜。该系统包括：第一卡盘，其构造成支承第一基本上平面的模具；第二卡盘，其构造成支承第二基本上平面的模具；以及可致动平台，其联接到所述第一卡盘和/或所述第二卡盘。所述可致动平台构造成将第一卡盘和/或第二卡盘定位成使得第一和第二模具通过间隙分开。该系统还包括传感器装置，其用于获得指示在至少三个位置中的每一个位置处第一和第二模具之间的距离和/或第一和第二卡盘之间的压力的测量信息。该系统还包括控制模块，该控制模块构造成基于测量信息来控制第一和第二模具之间的间隙。

公开(公告)号：CN111010871B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201880017487.0

申请日：2018-03-15

Applicant: 分子印记公司

Inventor： 张杰 ,  C·卑路斯 ,  R·M·帕特森 ,  M·S·沙夫兰 ,  C·J·福莱肯斯坦 ,  C·S·卡登

IPC: B29C59/02 ,  B29C35/08 ,  B29C43/04 ,  B29C43/58 ,  G03F7/26

Abstract: 示例性系统构造成将可光固化材料光固化以形成聚合物膜。该系统包括：第一卡盘，其构造成支承第一基本上平面的模具；第二卡盘，其构造成支承第二基本上平面的模具；以及可致动平台，其联接到所述第一卡盘和/或所述第二卡盘。所述可致动平台构造成将第一卡盘和/或第二卡盘定位成使得第一和第二模具通过间隙分开。该系统还包括传感器装置，其用于获得指示在至少三个位置中的每一个位置处第一和第二模具之间的距离和/或第一和第二卡盘之间的压力的测量信息。该系统还包括控制模块，该控制模块构造成基于测量信息来控制第一和第二模具之间的间隙。