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公开(公告)号：CN114675359B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202210366992.4
申请日：2017-08-24
Applicant: 分子印记公司
Abstract: 描述了使用围限结构和/或图案光栅减少或防止密封剂聚合物(例如胶水)芯吸到多层光学组装件的光学活性区中的技术。多层光学结构可包括压印了波导光栅图案的多个衬底层。可以使用封边胶，如树脂、环氧树脂、胶水等固定所述多个层。可沿各层的边缘压印围限结构，如边缘图案以控制和围限封边胶的毛细流动并防止封边胶芯吸到这些层的功能波导光栅图案中。此外，封边胶可用碳掺杂或以其它方式加黑以减少光从边缘反射回层内部，由此改进该组装件的光学功能。
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公开(公告)号：CN111010871A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201880017487.0
申请日：2018-03-15
Applicant: 分子印记公司
Abstract: 示例性系统构造成将可光固化材料光固化以形成聚合物膜。该系统包括：第一卡盘，其构造成支承第一基本上平面的模具；第二卡盘，其构造成支承第二基本上平面的模具；以及可致动平台，其联接到所述第一卡盘和/或所述第二卡盘。所述可致动平台构造成将第一卡盘和/或第二卡盘定位成使得第一和第二模具通过间隙分开。该系统还包括传感器装置，其用于获得指示在至少三个位置中的每一个位置处第一和第二模具之间的距离和/或第一和第二卡盘之间的压力的测量信息。该系统还包括控制模块，该控制模块构造成基于测量信息来控制第一和第二模具之间的间隙。
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公开(公告)号：CN113866876B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202111171261.6
申请日：2017-09-15
Applicant: 分子印记公司
IPC: G02B6/12
Abstract: 本发明涉及多波导光场显示。一种多波导光学结构，包括多个波导，该多个波导被堆叠为拦截顺序传播通过每个波导的光，每个波导与不同颜色和不同平面深度相关联，每个波导包括：第一粘合层；具有第一折射率的基板；以及图案化的层，该图案化的层被定位为使得第一粘合层位于图案化的层与基板之间，第一粘合层提供图案化的层与基板之间的粘合，图案化的层具有小于第一折射率的第二折射率，图案化的层限定衍射光栅，其中，与波导相关联的视场是基于第一折射率和第二折射率的。
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公开(公告)号：CN115642115A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211362894.X
申请日：2017-09-27
Applicant: 分子印记公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , G03F7/20
Abstract: 本发明涉及基板装载系统，涉及用于基板转移的方法、系统和设备，包括将托盘操作器装置定位在第一位置，其中i)第一托盘的孔洞的切口与基座平台的相应基座重叠，并且ii)基座的远端远离第一托盘的顶面延伸；增加第一托盘的顶面与基座平台的顶面之间的距离，以将第一基板从基座转移到由第一托盘的孔洞限定的突片，同时使第二托盘操作器与第二托盘接合；以及增加第二托盘的顶面与卡盘的底面之间的距离，以将第二基板从卡盘转移到由第二托盘限定的突片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115453818A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211042781.1
申请日：2017-06-02
Applicant: 分子印记公司
Abstract: 本发明涉及微光刻中的基板加载。本发明涉及用于装载和卸载诸如半导体晶片的基板的方法、系统和设备，涉及微光刻和类似的纳米制造技术。该系统包括：两个或更多个基座；基板卡盘，其包括两个或更多个通道；转台，其具有顶面和与第二端相对定位的第一端，第一端和第二端中的每一者都包括相应的开口，每个开口包括两个或更多个切口和两个或更多个突片，所述转台能在第一位置与第二位置之间旋转；和致动器系统，其用于调节转台与基板卡盘之间以及转台与基座之间的距离。
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公开(公告)号：CN114675359A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210366992.4
申请日：2017-08-24
Applicant: 分子印记公司
Abstract: 描述了使用围限结构和/或图案光栅减少或防止密封剂聚合物(例如胶水)芯吸到多层光学组装件的光学活性区中的技术。多层光学结构可包括压印了波导光栅图案的多个衬底层。可以使用封边胶，如树脂、环氧树脂、胶水等固定所述多个层。可沿各层的边缘压印围限结构，如边缘图案以控制和围限封边胶的毛细流动并防止封边胶芯吸到这些层的功能波导光栅图案中。此外，封边胶可用碳掺杂或以其它方式加黑以减少光从边缘反射回层内部，由此改进该组装件的光学功能。
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公开(公告)号：CN109804278B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201780051980.X
申请日：2017-08-24
Applicant: 分子印记公司
Abstract: 描述了使用围限结构和/或图案光栅减少或防止密封剂聚合物(例如胶水)芯吸到多层光学组装件的光学活性区中的技术。多层光学结构可包括压印了波导光栅图案的多个衬底层。可以使用封边胶，如树脂、环氧树脂、胶水等固定所述多个层。可沿各层的边缘压印围限结构，如边缘图案以控制和围限封边胶的毛细流动并防止封边胶芯吸到这些层的功能波导光栅图案中。此外，封边胶可用碳掺杂或以其它方式加黑以减少光从边缘反射回层内部，由此改进该组装件的光学功能。
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公开(公告)号：CN109952537B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201780064029.8
申请日：2017-09-08
Applicant: 分子印记公司
IPC: G03F7/20 , B29C59/02 , H01L21/027
Abstract: 用于定位基板的压印光刻方法包括将第一和第二基板分别支承在第一和第二卡盘顶上，将第一和第二卡盘沿横向气动地悬挂在第一和第二套管内，在第一和第二套管内沿竖向支承第一和第二卡盘，保持第一和第二卡盘分别处于第一和第二固定旋转取向，以及分别克服第一和第二竖向阻力彼此独立地沿向下方向迫压第一和第二卡盘，直到第一和第二基板的第一和第二顶面共平面，同时保持第一和第二卡盘被沿横向悬挂在第一和第二套管内并且同时保持第一和第二卡盘处于第一和第二固定旋转取向。
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公开(公告)号：CN109952537A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201780064029.8
申请日：2017-09-08
Applicant: 分子印记公司
IPC: G03F7/20 , B29C59/02 , H01L21/027
Abstract: 用于定位基板的压印光刻方法包括将第一和第二基板分别支承在第一和第二卡盘顶上，将第一和第二卡盘沿横向气动地悬挂在第一和第二套管内，在第一和第二套管内沿竖向支承第一和第二卡盘，保持第一和第二卡盘分别处于第一和第二固定旋转取向，以及分别克服第一和第二竖向阻力彼此独立地沿向下方向迫压第一和第二卡盘，直到第一和第二基板的第一和第二顶面共平面，同时保持第一和第二卡盘被沿横向悬挂在第一和第二套管内并且同时保持第一和第二卡盘处于第一和第二固定旋转取向。
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