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公开(公告)号：CN107419236A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710654905.4
申请日：2014-01-10
Applicant: 加州理工学院
IPC: C23C16/26 , C23C16/44 , C23C16/511 , H01L29/92
CPC classification number: C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355 , H01L29/92
Abstract: 本申请涉及用于石墨烯形成的方法和系统。一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN104919077B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201480004713.3
申请日：2014-01-10
Applicant: 加州理工学院
IPC: C23C14/02
CPC classification number: C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355
Abstract: 一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN107419236B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201710654905.4
申请日：2014-01-10
Applicant: 加州理工学院
IPC: C23C16/26 , C23C16/44 , C23C16/511 , H01L29/92
CPC classification number: C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355
Abstract: 本申请涉及用于石墨烯形成的方法和系统。一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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公开(公告)号：CN104919077A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201480004713.3
申请日：2014-01-10
Applicant: 加州理工学院
IPC: C23C14/02
CPC classification number: C23C16/26 , C01B32/184 , C01B32/186 , C23C16/4405 , C23C16/511 , Y10T428/24355
Abstract: 一种形成石墨烯的方法包括将基底放置在处理室中并且将包括氢气和氮气的清洁气体引入到处理室中。该方法还包括将碳源引入到处理室中并且在处理室中引发微波等离子体。该方法还包括使基底经受清洁气体和碳源的流动持续预定的时间段以形成石墨烯。
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