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公开(公告)号：CN113566690B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202110891834.6
申请日：2021-08-04
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明提供一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵，属于磁悬浮设备技术领域，其中，电涡流传感器组件包括：安装座，具有中心通孔；电感探头，具有围绕所述中心通孔对称设置的多个，所述电感探头沿所述中心通孔的径向位置可调的连接在所述安装座上；本发明的电涡流传感器组件，电感探头在安装座上能够进行径向调整，从而便于根据需进行监测的轴径，进行精确调整电感探头的位置，提高电涡流传感器组件的精度，以及可适配的轴径的范围。
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公开(公告)号：CN119582678A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411733094.3
申请日：2024-11-28
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种步进电机矢量驱动电路、方法、电子设备和蝶阀，涉及蝶阀控制的技术领域，所述驱动电路用于对步进电机进行控制，步进电机用于驱动蝶阀中阀门的动作；所述步进电机内设有至少两个线圈，所述步进电机矢量驱动电路包括：至少两个电压控制模块，每个目标电压控制模块包括：第一受控单元、第二受控单元、第三受控单元和第四受控单元；所述第一和第三受控单元的受控端连接于目标线圈的一端；所述第二和第四受控单元的受控端连接于目标线圈的另一端；所述第一受控单元、第二受控单元、第三受控单元和第四受控单元控制端受控于PWM信号执行关断，控制通过所述目标线圈的电压。通过本申请利用矢量控制提升了蝶阀的安全性，降低了蝶阀的制造成本。
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公开(公告)号：CN119536215A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411581182.6
申请日：2024-11-07
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种半导体用压力控制装置故障检测方法及相关产品，涉及故障检测的技术领域，所述方法包括响应于第一故障检测指令，获取第一故障检测数据，并基于所述第一故障检测数据确定半导体用压力控制装置是否存在故障，若所述半导体用压力控制装置不存在故障，所述半导体刻蚀设备启动，并生成第二故障检测指令；响应于所述第二故障检测指令，获取第二故障检测数据，并基于所述第二故障检测数据对所述半导体用压力控制设备进行实时故障检测。通过本申请优化了现有技术中半导体用压力控制装置故障检测流程，并为后续半导体用压力控制装置故障检修提供了依据。
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公开(公告)号：CN117637430A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311618932.8
申请日：2023-11-29
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于控制刻蚀机的抽气管路控压阀门的方法、设备及介质。该方法基于工艺腔室的当前室温、当前进气流量、当前气压、当前位置和选定气压范围确定阀芯的目标位置，并根据工艺腔室的当前室温和当前进气流量确定抽气管路控压阀门的控制策略，基于控制策略控制阀芯的移动，直至阀芯移动到目标位置为止。该方法相比于现有技术可以根据工艺腔室的当前工艺情况(例如当前室温和当前进气流量)选择合适的策略并用以控制阀芯的移速和用时，降低工艺腔室的压力在阀芯移动时和移动后产生的骤变幅度，达到减小气压超调量并提高芯片刻蚀的质量的目的。
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公开(公告)号：CN116186908A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202111420951.0
申请日：2021-11-26
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
IPC: G06F30/17 , G06F30/25 , G06F113/08 , G06F119/08
Abstract: 本发明公开了一种涡轮分子泵抽气特性计算方法、装置及电子设备，其方法包括：获取各级叶列的正向传输概率、反向传输概率、分子流通面积和气体分子热运动速度；根据正向传输概率和反向传输概率，计算整机的最大抽速系数及最大压缩比；遍历各级叶列的分子流通面积，确定最大面积和最小面积；根据气体分子热运动速度、最大面积、最小面积和整机的最大抽速系数，计算大分子量气体和小分子量气体抽速。本发明提供的涡轮分子泵抽气特性计算方法，通过全流域整机计算的方法，对各级叶列迭代计算，提高了计算精度和准确性。同时，分别采用最大和最小叶列流通面积计算大分子量气体和小分子量气体的抽速，使得针对不同气体的计算结果与试验数据误差较小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113513495A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110891291.8
申请日：2021-08-04
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本发明提供的电涡流传感器以及具有该电涡流传感器的磁悬浮分子泵，属于传感器技术领域，其中，电涡流传感器包括：外壳和设置在外壳内的绕线杆，所述绕线杆上用于缠绕线圈，所述绕线杆与所述外壳之间具有用于容纳所述线圈的容纳空间；所述绕线杆与所述外壳能够进行轴向的相对移动，所述绕线杆的头部具有与所述外壳的顶端开口相配合的环形凸缘，所述环形凸缘与所述外壳配合能够将所述线圈封闭在所述外壳内；本发明的电涡流传感器，将导线缠绕在绕线杆的头部以形成线圈，绕线杆的头部能够缩回外壳内，使线圈容纳在外壳内，从而对线圈形成防护，提高对线圈的防护效果。
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公开(公告)号：CN119687009A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411894566.3
申请日：2024-12-20
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种分子泵，其包括：壳组，具有出气口的底座及扣设在底座上且具有进气口的壳体；涡轮部件，可转动地设在底座与壳体之间，并包括叶片部、与叶片部同轴连接的延伸部、与叶片部和延伸部的相交处连接的折弯部，以及形成在折弯部与延伸部之间的环空；牵引筒组，其包括同轴式设在底座上并部分进入到涡轮部件的环空的第一牵引筒；蜿蜒通道，其依次包括与进气口连通的抽气段、第一压缩段、第二压缩段、第三压缩段以及连通出气口的第四压缩段。该分子泵能够在几乎不增加体积的情况下提高其压缩比及抽气性能，以满足分子泵在高端应用场景下的使用要求。
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公开(公告)号：CN119238412A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411646752.5
申请日：2024-11-18
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
IPC: B25B11/02
Abstract: 本申请公开了一种用于蝶阀的工装工具，蝶阀包括具有转轴且已被调零的电动马达、固定设在电动马达上且具有通道的阀体、可转动地设在阀体内且部分置于通道内的阀杆、设于通道内并固定在阀杆上的阀板，工装工具包括：基座；托台结构；校准组件，其设在基座上并位于托台结构的一侧，能插入阀体的通道以将阀板在阀体内的方位调整到使其完全关闭阀体的通道的位置；顶紧组件，其设在基座上并位于托台结构的另一侧，能插入阀体的通道以将阀板压紧在校准组件上，从而阻止阀板及阀杆相对于阀体产生转动。该工装工具不仅使得装配蝶阀的过程更加简便快捷，且有利于蝶阀装配过程中的阀板和阀体之间角度的精准调整。
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公开(公告)号：CN116221151A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202111479235.X
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本发明涉及涡轮分子泵技术领域，具体涉及一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵。涡轮分子泵叶片，叶片本体的压力面与吸力面均为曲面，所述叶片本体的厚度从根部向顶部逐渐减小，所述叶片本体根部的叶片厚度为3.5mm－4.5mm，所述叶片本体顶部的叶片厚度为1.5mm－2.5mm，所述叶片本体的进口角为25°－35°，所述叶片本体的出口角为40°－50°，所述叶片本体的叶片倾角为0°－20°。设计为较小的进口角度和较大的出口角度，能够提高对被抽气体捕捉能力、排出能力及反向阻止回流能力。在其他参数相同的情况下，能够提高涡轮分子泵的抽速和压缩比，能够大大提升涡轮分子泵在低压工况下的抽气能力。
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公开(公告)号：CN111999014A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010929724.X
申请日：2020-09-07
Applicant: 北京中科九微科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种分子泵机组及真空检漏方法，其中，分子泵机组包括前级泵及分子泵、前级真空计、高真空计、机组控制器；前级真空计设置于真空管路上，用于测量前级泵开启时的前级压强；高真空计设置于真空室上，用于测量分子泵开启时的真空室压强；机组控制器用于根据前级压强和真空室压强检测分子泵机组所在的真空系统是否存在漏气故障。通过实施本发明可以实现漏气故障的自检测，无需使用额外的仪器，使得对分子泵机组漏气故障的检查更简单快捷。
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