公开(公告)号：CN106653542A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201510710240.5

申请日：2015-10-28

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05

Abstract: 本发明公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用。随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本发明装置与以往装置相比，宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数，能很好满足宽带束束流要求。

公开(公告)号：CN103094033A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201110347060.7

申请日：2011-11-07

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍 ,  伍三忠

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/24 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/2485

Abstract: 一种双灯丝离子源弧流平衡调节方法，它包括：灯丝电源1(1)、灯丝电源2(2)、偏置电源1(3)、偏置电源2(4)、弧压电源(5)、比较器1(6)、比较器2(7)、两个霍尔传感器(8)。灯丝电源1(1)和2(2)用来给离子源的灯丝加热，当灯丝加热温度达到一定程度时，灯丝就会发射电子，偏置电源1(3)和2(4)加在阴极与灯丝之间，使得电子以一定能量打到阴极上，形成偏流。同样阴极在持续的轰击下，阴极表面发射电子，弧压电源(5)连接在弧室与阴极之间，电子在弧压电场作用下，向弧室运动，最终吸附到弧室上形成弧流。首先，调节灯丝电源1(1)，直至偏流达到设定值，在调节偏置电源1(3)，电子在弧压电场作用下，使其形成的弧流值与设定值相等。然后以灯丝电源1(1)和偏置电源1(3)为基准，分别调节灯丝电源2(2)和偏置电源2(4)。通过检测的电流反馈值，不断调节电源的输入值，直到偏流和弧流均与设定值相等。这样的双闭环控制，能达到双灯丝离子源平衡弧流的方法。

公开(公告)号：CN102569117A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201010621903.3

申请日：2010-12-27

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 曹远翔 ,  唐景庭 ,  刘世勇 ,  胡宝富 ,  林萍 ,  李慧

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种离子注入束线法拉第，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连；所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果；所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧，其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)；所述的燃烧传感器(3)用于检测杯测束底板(4)束流。

公开(公告)号：CN102956429B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201110241161.6

申请日：2011-08-22

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 邓颖辉 ,  彭立波 ,  林萍

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/04

Abstract: 本发明提供一种用于宽带束离子注入机的引出电极系统，包括：Y1方向运动机构(1)，移动支架(2)，安装法兰(3)，引出电极(4)，抑制电极(5)，Y2方向运动机构(6)，Z1方向运动机构(7)，Z2方向运动机构(8)，用于连接抑制电极(5)和引出电极(4)的连接柱(9)。其中Y1方向运动机构(1)用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Y1方向上的运动，Y2方向运动机构(6)用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Y2方向上的运动。Z1方向运动机构(7)和Z2方向运动机构(8)分别用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Z1方向上和Z2方向上的运动。

公开(公告)号：CN103811253A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201210449030.1

申请日：2012-11-12

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/30

Abstract: 一种引出限流的装置，包括：上盖(1)、底座(2)、绝缘筒(3)、绝缘支杆1(4)、插销导轨(5)、弹簧片(6)、浪涌电阻固定件(7)、绝缘支杆2(8)、浪涌电阻(9)、高压插头(10)。说明书对本装置进行了详细的说明，并给出具体实施方案。

公开(公告)号：CN103811250A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201210449055.1

申请日：2012-11-12

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/32

Abstract: 一种闭环控制淋浴枪的方法，其包括：天线(1)、CMOS器件(2)、放大器(3)、A/D转换(4)、处理器(5)、D/A转换(6)、PFG控制器(7)、弧压电源(8)、淋浴枪(9)、电子(10)、灯丝电源(11)。此方法检测硅片的电荷积累情况，流程图图2说明了控制过程，开始设定PFG电荷积累电压和初始化PFG电源(12)，PFG的灯丝电源(11)和弧压电源(8)控制起弧(13)，通过天线(1)采集电荷积累的数据(14)，采集的数据与设定的电荷积累电压比较(15)，若在允许的范围内判断是否继续闭环控制(16)，不在允许的范围内则计算PFG新的控制量(16)，继续调节PFG电源，如果继续闭环控制则持续采集电荷积累数据(14)，不继续闭环控制则结束(17)。说明书对本方法进行了详细的说明，并给出具体实施方案。

公开(公告)号：CN102569014A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201010622169.2

申请日：2010-12-27

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 周文龙 ,  黄永章 ,  邓颖辉 ,  孙勇 ,  林萍

IPC: H01L21/00

Abstract: 本发明阐述了一种引束时更换菜单的方法，控制离子注入机引束时需要进行菜单更换，从而进行另一次引束的过程。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。本方法可以分成两个小的部分讨论，即附图中的步骤(3)更换菜单与当前菜单一致和步骤(4)更换菜单与当前菜单不一致。通过分析这两种方式的不同以及对当前不同作出判断，然后操作各项电源包括气箱，以达到快速，无污染的更换菜单及束流的目的。

公开(公告)号：CN111192808A

公开(公告)日：2020-05-22

申请号：CN201811357792.2

申请日：2018-11-15

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍 ,  肖志强 ,  李莉

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种固态源自动引束的方法，首先在启动固态源时选定相应种类的固态源，按照固态源种类不同坩埚电源的温度初始值(2)也不同，坩埚电源的温度初始值(2)设定后，同时送入氩气1.0sccm(3)充当载体，当坩埚的温度反馈值与它的设定值在允许的误差内(5)，氩气以0.2sccm/s速度下降(6)，直至氩气关闭，此时坩埚内的固态源已经产生一定量的气体，并且逐渐增多，坩埚电源温度继续调节(4)，setup检测的束流值在不断增加，当setup检测束流值与目标值比较(7)相差较大时，坩埚电源温度继续调节(4)，当setup检测束流值与目标值比较在误差内(7)时，停止坩埚电源温度调节(4)，即可结束(8)。

公开(公告)号：CN102445901B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201010514201.5

申请日：2010-10-13

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 唐景庭 ,  伍三忠 ,  孙勇 ,  林萍 ,  彭立波

IPC: G05B13/02 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明公开了一种离子源自动稳弧流的方法，离子源装置包括阴极(1)灯丝(2)、弧室(3)、弧压电源(4)、灯丝电源(5)、偏置电源(6)。自动稳弧流的方法就是通过检测弧压电源(4)的负载电流——弧流的变化，用PID控制器来控制影响阴极发射电子的灯丝电源(5)的负载电流——灯丝电流，达到稳定弧流的目的。在灯丝电源(5)和弧压电源(4)之间形成一闭环控制，从而使弧流自动稳定，不需要人工或主控计算机干预。

公开(公告)号：CN103187204A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201110452423.3

申请日：2011-12-30

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01H45/00 ,  H01J37/317

Abstract: 一种超低能继电器的装置，包括：低能继电器壳体(1)、气缸安装座(2)、铜连杆(3)、接线柱1(4)、接线柱2(5)、长铜杆(6)、短铜杆(7)、气缸(8)、紫铜杆(9)、螺钉(10)、气缸铜杆(11)、地线连接柱(12)、气缸压块(13)、转换接头(14)。说明书对本装置进行了详细的说明，并给出具体实施方案。