MEMS移相器及其制作方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112787052B

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN201911082335.1

    申请日:2019-11-07

    Abstract: 本公开提供了一种MEMS移相器及其制作方法,该MEMS移相器包括:第一基板,其具有第一表面;共面波导,其位于所述第一基板的所述第一表面上,并且包括第一导电线和分别位于所述第一导电线两侧且与所述第一导电线绝缘的两条第二导电线;以及多个电容桥,其位于所述共面波导远离所述第一基板的一侧,所述多个电容桥间隔排布且与所述第一导电线和所述第二导电线绝缘,并且所述多个电容桥的每一个与所述第一导电线交叉设置,其中所述第一基板的所述第一表面包括第一凹槽,并且所述第一导电线悬置在所述第一凹槽上方。

    投影玻璃
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114815488A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202110071203.X

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本申请提供一种投影玻璃。所述投影玻璃包括透明基底、位于所述透明基底上的散射层及位于所述散射层背离所述透明基底一侧的透明盖板。所述散射层包括介质材料及分散在所述介质材料中的多个微纳颗粒,所述微纳颗粒包括光子晶体颗粒、具有核壳结构的颗粒或具有多重散射的无序介质颗粒中的至少一种。本申请提供的投影玻璃的散射层对光的散射强度及反射强度较高,可有效提升投影到投影玻璃上的图像质量,有助于提升用户的使用体验。

    MEMS移相器及其制作方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112787052A

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN201911082335.1

    申请日:2019-11-07

    Abstract: 本公开提供了一种MEMS移相器及其制作方法,该MEMS移相器包括:第一基板,其具有第一表面;共面波导,其位于所述第一基板的所述第一表面上,并且包括第一导电线和分别位于所述第一导电线两侧且与所述第一导电线绝缘的两条第二导电线;以及多个电容桥,其位于所述共面波导远离所述第一基板的一侧,所述多个电容桥间隔排布且与所述第一导电线和所述第二导电线绝缘,并且所述多个电容桥的每一个与所述第一导电线交叉设置,其中所述第一基板的所述第一表面包括第一凹槽,并且所述第一导电线悬置在所述第一凹槽上方。

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