公开(公告)号：CN116625347A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310593744.8

申请日：2023-05-23

Applicant: 北京京东方传感技术有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

Inventor： 张硕 ,  王琪 ,  孙亮 ,  覃一锋 ,  宁云龙 ,  孙同虎 ,  赵小娅 ,  胡扬端瑞 ,  葛壮 ,  展岩良 ,  肖红玺 ,  刘琨 ,  冀新友 ,  曲峰 ,  刘明晶

IPC: G01C19/60 ,  G01R33/032 ,  G04F5/14

Abstract: 本发明提供了一种原子气室及其制作方法，属于原子气室的制造技术领域。原子气室，包括依次层叠的第一硅基板、玻璃基板、第二硅基板；所述第一硅基板朝向所述第二硅基板的第一表面设置有多个间隔设置的第一凹槽；所述玻璃基板包括多个间隔设置的通孔，所述通孔与所述第一凹槽一一对应，所述通孔在所述第一硅基板上的正投影落入对应的第一凹槽内；所述第二硅基板朝向所述第一硅基板的第二表面设置有多个间隔设置的第二凹槽，所述通孔与所述第二凹槽一一对应，所述通孔在所述第二硅基板上的正投影落入对应的第二凹槽内；每一所述通孔与对应的所述第一凹槽和所述第二凹槽组成一腔室。本发明的技术方案能够简化原子气室的制备工艺。

公开(公告)号：CN118533860A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410620049.0

申请日：2024-05-17

Applicant: 北京京东方传感技术有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

Inventor： 徐帅 ,  胡扬端瑞 ,  侯学成 ,  孙亮 ,  宁云龙 ,  覃一锋 ,  杨俊峰 ,  王冬冬

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/01

Abstract: 本申请提供一种晶圆裂纹检测装置和检测方法，所述装置包括：遮光罩；检测组件，位于所述遮光罩内，所述检测组件包括相对设置的光敏传感器和光源，所述光敏传感器和光源之间有间隔，所述间隔用于容待检测晶圆伸入；其中，所述待检测晶圆包括待检测区域，所述光敏传感器的中轴线与所述光源的中轴线交汇于所述待检测区域内。若待检测区域内存在裂纹，那么光源发出的光线会经裂纹界面反射后进入光敏传感器中，使得光敏传感器的输出信息与常规信息不同，如此基于获取到的光敏传感器的输出信息就可以准确检测晶圆是否存在裂纹，检测效率、检测精度和准确性均较高，并且，光敏传感器和光源均不会直接接触晶圆，确保晶圆的清洁度。