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公开(公告)号：CN118882091A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411034729.0
申请日：2024-07-30
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本申请涉及一种大流量可燃废气的废气处理设备、系统及方法。该废气处理设备包括柜体、废气处理腔以及负压机。柜体设置有废气进气口以及气体排出口。废气处理腔设置于柜体内，包括反应腔与换热腔。反应腔与废气进气口连通，反应腔的顶端为敞口结构，通过废气进气口输入至反应腔的废气在反应腔内燃烧，产生燃烧后的气体。换热腔与反应腔连通，与气体排出口连通，在换热腔内设置有换热管，换热管内设置有换热介质，以降低燃烧后的气体的温度。负压机与气体排出口连通，将废气处理腔中的气体从气体排出口抽出。
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公开(公告)号：CN113048493B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202110256920.X
申请日：2021-03-09
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
IPC: F23G7/06
Abstract: 本发明提供一种半导体废气处理装置及处理方法，半导体废气处理装置包括废气处理装置、可燃气体输送管线、氧气输送管线和制程废气输送管线，可燃气体输送管线与燃烧器连通，可燃气体输送管线上设置有第一质量流量控制器；氧气输送管线与燃烧器连通，氧气输送管线设置有第二质量流量控制器；制程废气输送管线与废气处理装置的进气口连通，制程废气输送管线设置有第一气体分析仪。通过第一气体分析仪分析制程废气的成分，并根据流量和初始温度计算处理制程废气所需可燃气体和氧气的使用量，通过第一质量流量控制器和第二质量流量控制器分别精准控制可燃气体和氧气的流量，确保制程废气充分燃烧，提高废气处理装置的处理效率。
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公开(公告)号：CN115016314A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210471039.6
申请日：2022-04-28
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
IPC: G05B17/02
Abstract: 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体温控设备仿真方法及系统、振动监测方法及系统，半导体温控设备仿真方法包括：获取物理样机的压缩机顶部的振动加速度数据；根据振动加速度数据获得振动位移数据；建立半导体温控设备的仿真模型；基于仿真模型和振动位移数据进行谐响应分析，获得频响应力；确定频响应力满足设定目标值要求；记录振动加速度数据和仿真模型。通过半物理仿真系统采用谐响应仿真分析方法实现，通过线性叠加快速反馈频响应力，通过物理样机配合仿真模型构建半导体温控设备激励数据库，便于后续确定半导体温控设备的振动参数即量产标准，以及基于本发明的半导体温控设备仿真方法进行的振动监测能够响应更快、监测精度更高。
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公开(公告)号：CN112933861B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202110097807.1
申请日：2021-01-25
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及泛半导体技术领域，提供一种半导体制程废气处理的控制方法及设备。半导体制程废气处理的控制方法，应用于半导体制程废气处理设备，废气处理设备包括依次连通的处理容器、第一冷却容器、水箱、第二冷却容器和排气管，所述控制方法包括：获取所述处理容器内气体的第一气体温度，以及所述水箱内气体的第二气体温度；获取所述第一气体温度与所述第二气体温度的第一温度差；根据所述第一温度差、所述第一气体温度和所述第二气体温度调节所述第一冷却容器的第一冷却液的流量。本发明提出的半导体制程废气处理的控制方法，可根据气体温度变化自动调节第一冷却液的流量，实现冷却效果的实时调控，提升废气处理设备的运行的自动化、智能化。
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公开(公告)号：CN114263913B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202111532115.1
申请日：2021-12-14
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明半导体制造技术领域，尤其涉及一种废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置，废气处理燃烧装置的控制方法包括：S1，开启普通燃烧模式，关闭纯氧燃烧模式；S2，确定含氟废气进入反应腔；S3，关闭普通燃烧模式，开启纯氧燃烧模式。本发明仅在含氟废气燃烧时切换至纯氧燃烧模式，缩短了燃烧器的离子棒处于纯氧燃烧的高温时段时长，保证离子棒的工作寿命，以及采用小型纯氧燃烧器结构尺寸小，功率小、保证点火安全、检火简单。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115949946A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211494397.5
申请日：2022-11-25
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种火炬安装法兰和废气处理装置。包括法兰主体，该法兰主体上构造有通孔、惰性气体通道和反应气体通道，惰性气体通道和反应气体通道分别设有惰性气体入口和反应气体入口，通孔由法兰主体的第一侧延伸至第二侧，惰性气体通道在通孔中设有惰性气体出口，反应气体通道在法兰主体的第二侧设有反应气体出口，废气管一端穿设在通孔中，位于在法兰主体的第一侧，废气管中设有废气通道，废气通道通过通孔与惰性气体出口以及法兰主体的第二侧连通。本发明提出的火炬安装法兰和废气处理装置使废气先与惰性气体进行混合降低其活性，防止其在废气通道或管道口发生反应造成堵塞，减少其产生爆炸的几率，使得废气处理过程更加稳定、安全。
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公开(公告)号：CN113058360B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202110286357.0
申请日：2021-03-17
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种在线可拆废气处理装置，涉及废气处理设备领域，包括废气燃烧装置、粉尘分离装置、水箱和后置除尘装置，粉尘分离装置包括第一粉尘分离腔、第二粉尘分离腔和连接通道，第一粉尘分离腔的上端与废气燃烧装置连通，第一粉尘分离腔的内部从上至下依次设置有冷却喷嘴、第一板阀和第二板阀。通过连接通道将第一粉尘分离腔与第二粉尘分离腔连通，并在第一粉尘分离腔的内部设置第一板阀和第二板阀，第二粉尘分离腔的内部设置第三板阀，维护时，关闭第一板阀、第二板阀和第三板阀，打开连接通道的手阀，使尾气通过连接通道进入第二粉尘分离腔，利用冷却喷嘴可将部分粉尘冲洗到第二粉尘分离腔，使得设备可正常工作，清理粉尘分离腔的粉尘。
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公开(公告)号：CN112915718B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110099426.7
申请日：2021-01-25
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及泛半导体技术领域，提供一种半导体制程废气处理设备，包括：处理容器、第一进气管和第二进气管，处理容器限制出处理腔；第一进气管与处理腔连通并用于向处理腔内通入待处理气体；第二进气管套设于第一进气管的外侧并连接于处理容器，第二进气管设置气体进口，第二进气管与第一进气管之间形成进气夹层，进气夹层与处理腔连通以用于向处理腔通入第一辅助气体，第一辅助气体的温度与流速中的至少一个高于待处理气体。本发明提出的半导体制程废气处理设备，解决第一进气管的出口端粉尘堆积而易造成堵塞的问题，延长清理保养周期，减小清理的劳动强度，降低设备清洁及维护保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本。
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公开(公告)号：CN114216130A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111454387.4
申请日：2021-12-01
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种废气处理装置的控制方法及废气处理装置，废气处理装置的控制方法包括：获取通入反应腔的废气类型；根据废气类型获取设定温度；根据设定温度调节反应腔的加热温度。本发明根据不同类型废气处理所需要的反应温度不同，传送不同的信号至废气处理装置，控制反应腔的加热温度的高低，即控制为反应腔提供加热温度的燃料CH4，CDA，O2等能源用量，实现能源利用的最大化，减少能源浪费，以此实现对能源用量进行控制保证节能。
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公开(公告)号：CN116428394A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310212370.0
申请日：2023-03-07
Applicant: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种阀组件及废气处理设备，其中阀组件包括：第一阀体和第二阀体，所述第一阀体具有第一进口、第一出口和第二出口，第二阀体具有第二进口、第三出口和第四出口；第一进口用于与废气连通，第一出口用于与第一废气处理装置连通，第二出口与第二进口连通，第三出口用于与第二废气处理装置连通，第四出口与第一进口连通；本发明通过将第一阀体和第二阀体连通，将第二阀体作为第一阀体的备用，在第一废气处理装置出现宕机的情况下，废气能够正常处理，保证生产线的正常运行，提高生产效率，且成本低。
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