六自由度位移测量方法及装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117249766A

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202210653048.7

    申请日:2022-06-09

    Abstract: 本公开涉及一种六自由度位移测量方法及装置,包括基于三维数字散斑干涉技术,测量被测物的几何运动和/或变形所引起的三个相位图;基于所述三个相位图,确定所述被测物的六自由度位移,其中,所述六自由度位移包括:三个线位移和三个角位移。根据本公开实施例可以有效实现对被测物的无靶镜测量,且测量得到的六自由度位移的精度较高。

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