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公开(公告)号：CN104425201B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201310388807.2
申请日：2013-08-30
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
CPC classification number: H01J37/32183
Abstract: 本发明提供阻抗匹配方法及阻抗匹配系统，阻抗匹配方法包括以下步骤：步骤S1，采集射频电源的输出信号，并根据输出信号判断射频电源输出的射频功率信号是否存在；步骤S2，对射频电源的输出阻抗和负载阻抗进行匹配；步骤S3，控制电机停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。本发明提供的阻抗匹配方法，其可以提高阻抗匹配的速率，从而可以避免在整个工艺过程中无法实现阻抗匹配。
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公开(公告)号：CN101420815B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200710176232.2
申请日：2007-10-23
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
IPC: H01L21/00 , H05H1/46 , H01L21/3065
Abstract: 本发明公开了一种鉴幅传感器及射频传输系统及其对负载阻抗进行鉴幅的方法，射频传输系统的射频主传输线上连接有鉴幅传感器，鉴幅传感器的电压信号采集单元和电流信号采集单元分别采集射频主传输线的电压信号和电流信号，然后由模拟乘法器接收电压信号和电流信号，并对接受到的信号进行运算，并将运算后的信号输入给控制器，控制器对接收到信号进行运算得到负载阻抗的幅值，实现射频传输系统的负载阻抗进行鉴幅。性能精度高、可靠性高。
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公开(公告)号：CN106376168A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510427518.8
申请日：2015-07-20
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备，包括控制器、匹配网络和电机，所述电机用于调节所述匹配网络的输入阻抗，其特征在于，还包括记录单元，所述记录单元用于记录所述电机的实时位置或初始预设位置；所述控制器根据所述电机的实时位置或初始预设位置在所述电机完成上次匹配任务后、执行下次匹配任务前复位。该阻抗匹配器的匹配效率和匹配精度高。本发明还提供一种阻抗匹配方法及半导体加工设备。
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公开(公告)号：CN104465290A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310438823.8
申请日：2013-09-24
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32 , H01J37/32798
Abstract: 本发明提供一种射频脉冲系统的阻抗匹配方法，该方法包括：S1、根据预先获取的阻抗匹配时所述反应腔的阻抗变化规律和当前脉冲期间阻抗匹配时所述反应腔的阻抗值，获得在下一个脉冲期间且阻抗匹配时，所述反应腔的阻抗的预测范围；S2、根据所述下一个脉冲期间所述反应腔的阻抗的预测范围，调节所述脉冲扫频电源的频率和/或所述阻抗可调元件的阻抗值，使得在下一个脉冲期间所述脉冲扫频电源和所述匹配网络的阻抗与所述反应腔的阻抗匹配。相应地，本发明还提供一种射频脉冲系统。本发明能够实现射频脉冲系统中脉冲扫频电源和匹配网络的阻抗与反应腔的阻抗的快速匹配，同时能够延长匹配网络中真空电容的使用寿命。
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公开(公告)号：CN104425201A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310388807.2
申请日：2013-08-30
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
CPC classification number: H01J37/32183
Abstract: 本发明提供阻抗匹配方法及阻抗匹配系统，阻抗匹配方法包括以下步骤：步骤S1，采集射频电源的输出信号，并根据输出信号判断射频电源输出的射频功率信号是否存在；步骤S2，对射频电源的输出阻抗和负载阻抗进行匹配；步骤S3，控制电机停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。本发明提供的阻抗匹配方法，其可以提高阻抗匹配的速率，从而可以避免在整个工艺过程中无法实现阻抗匹配。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104465290B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201310438823.8
申请日：2013-09-24
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种射频脉冲系统的阻抗匹配方法，该方法包括：S1、根据预先获取的阻抗匹配时所述反应腔的阻抗变化规律和当前脉冲期间阻抗匹配时所述反应腔的阻抗值，获得在下一个脉冲期间且阻抗匹配时，所述反应腔的阻抗的预测范围；S2、根据所述下一个脉冲期间所述反应腔的阻抗的预测范围，调节所述脉冲扫频电源的频率和/或所述阻抗可调元件的阻抗值，使得在下一个脉冲期间所述脉冲扫频电源和所述匹配网络的阻抗与所述反应腔的阻抗匹配。相应地，本发明还提供一种射频脉冲系统。本发明能够实现射频脉冲系统中脉冲扫频电源和匹配网络的阻抗与反应腔的阻抗的快速匹配，同时能够延长匹配网络中真空电容的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103906338B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201210590619.3
申请日：2012-12-31
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
Abstract: 本发明公开一种等离子体装置，包括电感耦合线圈，所述电感耦合线圈通过匹配器与射频源相连接，所述电感耦合线圈用于在工艺过程中激发等离子体，所述刻蚀包括工艺气体不同的N个工艺步骤，所述电感耦合线圈包括至少两组线圈；通过至少两组线圈构成N种线圈组合；其中，每种线圈组合由至少两组线圈中的部分或全部构成，且所述N种线圈组合的构成各不相同；所述N种线圈组合与所述N个工艺步骤分别对应；通过射频源选择性地连接至所述N种线圈组合中的一个，以进行与所述各个线圈组合相对应的工艺步骤。通过该等离子体装置，根据不同的工艺气体使用不同的线圈结构激发等离子体，以提高等离子体分布强度的均匀性，从改善等离子工艺的工艺效果。
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公开(公告)号：CN103906338A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210590619.3
申请日：2012-12-31
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
Abstract: 本发明公开一种等离子体装置，包括电感耦合线圈，所述电感耦合线圈通过匹配器与射频源相连接，所述电感耦合线圈用于在工艺过程中激发等离子体，所述刻蚀包括工艺气体不同的N个工艺步骤，所述电感耦合线圈包括至少两组线圈；通过至少两组线圈构成N种线圈组合；其中，每种线圈组合由至少两组线圈中的部分或全部构成，且所述N种线圈组合的构成各不相同；所述N种线圈组合与所述N个工艺步骤分别对应；通过射频源选择性地连接至所述N种线圈组合中的一个，以进行与所述各个线圈组合相对应的工艺步骤。通过该等离子体装置，根据不同的工艺气体使用不同的线圈结构激发等离子体，以提高等离子体分布强度的均匀性，从改善等离子工艺的工艺效果。
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公开(公告)号：CN101426329A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200710176697.8
申请日：2007-11-01
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种电流采集装置及射频传输系统，包括线圈、支撑装置，支撑装置为圆环状，支撑装置上设有多个通孔，线圈穿过通孔缠绕在支撑装置上，可以限制导线的缠绕，这种加工方式比较精确，可以减小由于人为手工缠绕而造成的个体差异，一致性和重复性高，而且易于制作。采用这种电流采集装置的射频传输系统，不同的电流采集装置之间信号差异小。
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公开(公告)号：CN101420815A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200710176232.2
申请日：2007-10-23
Applicant: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
IPC: H05H1/46 , H01L21/00 , H01L21/3065
Abstract: 本发明公开了一种鉴幅传感器及射频传输系统及其对负载阻抗进行鉴幅的方法，射频传输系统的射频主传输线上连接有鉴幅传感器，鉴幅传感器的电压信号采集单元和电流信号采集单元分别采集射频主传输线的电压信号和电流信号，然后由模拟乘法器接收电压信号和电流信号，并对接受到的信号进行运算，并将运算后的信号输入给控制器，控制器对接收到信号进行运算得到负载阻抗的幅值，实现射频传输系统的负载阻抗进行鉴幅。性能精度高、可靠性高。
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