抗电磁环境干扰高可靠LDMOS静电泄放器件、制备方法及芯片

    公开(公告)号:CN118073425B

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202410500105.7

    申请日:2024-04-24

    Abstract: 本申请公开了一种抗电磁环境干扰高可靠LDMOS静电泄放器件、制备方法及芯片,属于半导体技术领域。抗电磁环境干扰高可靠LDMOS静电泄放器件包括:基底;体区,体区内靠近第一侧设有源区和至少一个第一掺杂区,第一掺杂区的掺杂类型和源区的掺杂类型相反;漂移区,漂移区靠近第一侧设有漏区和至少一个第二掺杂区,第二掺杂区的掺杂类型和漏区的掺杂类型相反;栅功能层;第一极性结构,分别与源区、第一掺杂区和栅功能层连接;第二极性结构,分别与漏区和第二掺杂区连接。体区内的第一掺杂区和漂移区内第二掺杂区分别在LDMOS器件内部形成PN结,实现在LDMOS内集成SCR结构,从而调整电流流出路径,提高了LDMOS器件的单位面积静电泄放能力。

    IGBT驱动电路及芯片
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN117498854B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202311220391.3

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明涉及集成电路领域,提供一种IGBT驱动电路及芯片。所述IGBT驱动电路包括死区产生模块、电平位移模块、延时电路模块、第一驱动管以及第二驱动管。死区产生模块用于基于输入信号生成非交叠的第一控制信号和第二控制信号;电平位移模块用于对第一控制信号进行电平位移处理生成高压域控制信号;延时电路模块用于对第二控制信号进行延时处理生成与所述高压域控制信号的延时相匹配的低压域控制信号;第一驱动管与第二驱动管在高压域控制信号以及低压域控制信号的作用下生成轨到轨输出的驱动信号。本发明可实现不同电压域的匹配,提高响应速度,且可实现良好的延时匹配特性,避免第一驱动管与第二驱动管直通,节省功耗。

    高速低功耗OTP电阻放大器及芯片
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117877543A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202311668595.3

    申请日:2023-12-06

    Abstract: 本申请实施例提供一种高速低功耗OTP电阻放大器及芯片,涉及存储器技术领域,OTP电阻放大器包括:采样触发模块、延时模块、复位模块、电源、OTP存储模块、采样放大模块及采样读取模块;采样触发模块、延时模块及采样放大模块依次连接,OTP存储模块与电源连接构成回路,采样触发模块的输出端还与OTP存储模块连接,采样放大模块的输入端与存储模块连接;采样放大模块的输出端与复位模块的输入端及采样读取模块的输入端分别连接,复位模块的输出端与采样触发模块连接。本申请能够根据采样输出,精确控制读取时间,使读取时间最小化,能够当输出稳定后及时关闭读取电路,从而有效降低平均功耗。

    纵向栅LDMOSFET器件及制造方法、功率芯片

    公开(公告)号:CN116525659B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310798837.4

    申请日:2023-07-03

    Abstract: 本发明涉及半导体领域,提供一种纵向栅LDMOSFET器件及制造方法、功率芯片。纵向栅LDMOSFET器件包括半导体衬底、阱区、体区、漂移区、源区以及漏区,还包括:纵向设置于所述体区与所述漂移区之间的氧化层,以及纵向设置于体区的纵向栅结构;所述氧化层和所述纵向栅结构均与所述阱区相接,所述漂移区与所述纵向栅结构之间的体区与所述氧化层以及所述漂移区构成第一场板结构;所述纵向栅结构包括纵向栅以及栅氧化层,所述纵向栅以及位于纵向栅底部的栅氧化层与所述阱区构成第二场板结构。本发明通过纵向设置氧化层和纵向栅结构,形成双场板结构,提高器件的击穿电压,同时减少漂移区的横向面积,从而减少芯片所占面积,降低成本。

    LDMOSFET器件的制造方法及LDMOSFET器件

    公开(公告)号:CN115939197B

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202310061014.3

    申请日:2023-01-19

    Abstract: 本发明涉及半导体领域,提供一种LDMOSFET器件的制造方法及LDMOSFET器件。LDMOSFET器件的制造方法,包括:在半导体衬底上形成阱区、漂移区和体区;在漂移区形成沟槽;在沟槽的侧壁形成氮化硅侧墙;在具有氮化硅侧墙的沟槽内填充隔离介质形成填充沟槽;去除填充沟槽内的氮化硅侧墙形成空气侧墙;在具有空气侧墙的填充沟槽表面覆盖氧化层,形成具有封闭的空气侧墙的场板隔离结构;在场板隔离结构上形成栅极和场板。本发明通过空气侧墙将场板隔离结构中的氧化物与漂移区的硅从侧面隔离开,彻底消除隔离结构侧面、上角处和下角处的二氧化硅与硅之间的界面态,提高LDMOSFET器件的可靠性;具有空气侧墙的场板隔离结构可以更好的降低表面电场,提高器件的击穿电压。

Patent Agency Ranking