公开(公告)号：CN116083849A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202310013892.8

申请日：2023-01-05

Applicant: 北京机械工业自动化研究所有限公司

Inventor： 薛勇杰 ,  邱维维 ,  王非 ,  刘曙光 ,  单勇革

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/32 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02 ,  B64D15/00

Abstract: 一种飞行器及其表面柔性防/除冰复合薄膜及制备方法，该飞行器的零部件表面具有表面柔性防/除冰复合薄膜，该薄膜包括：第一绝缘薄膜，通过热喷涂、磁控溅射、离子束辅助沉积、化学气相沉积或磁过滤阴极真空弧源沉积于基体表面形成；柔性电热薄膜，位于第一绝缘薄膜上，根据不同的工作电压和单位面积功率要求设置；第二绝缘薄膜，位于柔性电热薄膜上，通过热喷涂、磁控溅射、离子束辅助沉积或化学气相沉积于柔性电热薄膜表面形成；以及超疏水薄膜，位于第二绝缘薄膜上，通过磁控溅射、离子束辅助沉积或磁过滤阴极真空弧源沉积于第二绝缘薄膜表面形成的具有超疏水结构的CrN基薄膜。本发明还公开了该表面柔性防/除冰复合薄膜的制备方法。

公开(公告)号：CN116083849B

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202310013892.8

申请日：2023-01-05

Applicant: 北京机械工业自动化研究所有限公司

Inventor： 薛勇杰 ,  邱维维 ,  王非 ,  刘曙光 ,  单勇革

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/32 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02 ,  B64D15/00

Abstract: 一种飞行器及其表面柔性防/除冰复合薄膜及制备方法，该飞行器的零部件表面具有表面柔性防/除冰复合薄膜，该薄膜包括：第一绝缘薄膜，通过热喷涂、磁控溅射、离子束辅助沉积、化学气相沉积或磁过滤阴极真空弧源沉积于基体表面形成；柔性电热薄膜，位于第一绝缘薄膜上，根据不同的工作电压和单位面积功率要求设置；第二绝缘薄膜，位于柔性电热薄膜上，通过热喷涂、磁控溅射、离子束辅助沉积或化学气相沉积于柔性电热薄膜表面形成；以及超疏水薄膜，位于第二绝缘薄膜上，通过磁控溅射、离子束辅助沉积或磁过滤阴极真空弧源沉积于第二绝缘薄膜表面形成的具有超疏水结构的CrN基薄膜。本发明还公开了该表面柔性防/除冰复合薄膜的制备方法。