-
-
公开(公告)号:CN112908960A
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:CN202110117877.9
申请日:2021-01-28
Applicant: 北京理工大学 , 北京微电子技术研究所 , 北京时代民芯科技有限公司
IPC: H01L23/488 , H01L21/60 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明涉及一种金属纳米颗粒原位反应增强的63Sn37Pb焊料凸点及其制备方法,属于电子封装技术领域。本发明的金属纳米颗粒原位反应增强的63Sn37Pb焊料凸点通过纳米复合电镀方式结合光刻技术制得,并通过倒装互连的方式进行对准互连。焊点回流过程中,金属纳米颗粒与锡原位反应生成的超细尺寸金属间化合物纳米颗粒,可以有效抑制焊点内部的原子迁移及界面金属间化合物的过度生长,阻碍高密度电流作用下焊料凸点内部的相分离,有效地提高该焊点的互连可靠性。
-
-