神经网络模型的训练方法和相位估计方法

    公开(公告)号:CN116468077A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202211694760.8

    申请日:2022-12-28

    Abstract: 本申请涉及一种用于干涉图的相位估计的神经网络模型的训练方法和基于所述神经网络模型的干涉图的相位估计方法。该用于干涉图的相位估计的神经网络模型的训练方法包括:获取训练用干涉图及其真实相位图;将所述训练用干涉图输入神经网络模型;获取所述神经网络模型输出的预测相位图;计算所述预测相位图与所述真实相位图之间的损失函数值;通过最小化所述损失函数值以梯度反向传播训练所述神经网络模型。这样,通过基于Unet++的神经网络模型学习干涉图不同尺度的特征,获得与干涉图对应的相位图准确估计。

    物理参数估计方法、装置和电子设备

    公开(公告)号:CN106092158B

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201610695189.X

    申请日:2016-08-19

    CPC classification number: G01B9/02 G01B11/2441

    Abstract: 公开了一种物理参数估计方法、装置和电子设备。该方法包括:读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图;在分数阶傅里叶变换(FRFT)阶次搜索范围内的每个FRFT阶次下,计算该条纹图中的至少一个第一方向像素集合的强度分布信号的幅度谱,该第一方向像素集合包括第一方向中的一排像素,该第一方向为该条纹图的行方向和列方向之一;根据计算出的幅度谱来确定该强度分布信号的匹配阶次;以及至少根据该匹配阶次来估计该干涉测量中涉及的物理参数。因此,即使在干涉条纹图存在噪声和干扰的情况下,仍然可以以很高的精度来估计被测件的物理参数。

    物理参数估计方法、装置和电子设备

    公开(公告)号:CN109781153A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201910243920.9

    申请日:2019-03-28

    Abstract: 公开了一种物理参数估计方法、物理参数估计装置和电子设备,该方法包括:读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图;获取牛顿环条纹图的第一方向信号个数和第一方向信号长度;针对每个第一方向信号,基于第一方向信号长度范围内的每个第一调频率参数,对第一方向信号进行离散线性调频傅里叶变换(DCFT),以获得强度分布信号在DCFT域中的第一幅度谱;基于第一幅度谱确定第一幅度峰值所对应的第一调频率参数和第一频率参数;以及至少根据第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数来估计干涉测量中涉及的物理参数。这样,可以以高精度稳定地估计干涉测量中涉及的物理参数。

    物理参数估计方法、装置和电子设备

    公开(公告)号:CN106092158A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610695189.X

    申请日:2016-08-19

    CPC classification number: G01B9/02 G01B11/2441

    Abstract: 公开了一种物理参数估计方法、装置和电子设备。该方法包括:读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图;在分数阶傅里叶变换阶次搜索范围内的每个分数阶傅里叶变换阶次下,计算该条纹图中的至少一个第一方向像素集合的强度分布信号在分数阶傅里叶域中的幅度谱,该第一方向像素集合包括第一方向中的一排像素,该第一方向为该条纹图的行方向和列方向之一;根据在每个分数阶傅里叶变换阶次下计算出的幅度谱来确定该至少一个第一方向像素集合的强度分布信号的匹配阶次;以及至少根据该匹配阶次来估计该干涉测量中涉及的物理参数。因此,即使在干涉条纹图存在噪声和干扰的情况下,仍然可以以很高的精度来估计被测件的物理参数。

    物理参数估计方法、装置和电子设备

    公开(公告)号:CN109781153B

    公开(公告)日:2020-08-11

    申请号:CN201910243920.9

    申请日:2019-03-28

    Abstract: 公开了一种物理参数估计方法、物理参数估计装置和电子设备,该方法包括:读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图;获取牛顿环条纹图的第一方向信号个数和第一方向信号长度;针对每个第一方向信号,基于第一方向信号长度范围内的每个第一调频率参数,对第一方向信号进行离散线性调频傅里叶变换(DCFT),以获得强度分布信号在DCFT域中的第一幅度谱;基于第一幅度谱确定第一幅度峰值所对应的第一调频率参数和第一频率参数;以及至少根据第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数来估计干涉测量中涉及的物理参数。这样,可以以高精度稳定地估计干涉测量中涉及的物理参数。

Patent Agency Ranking