用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法

    公开(公告)号:CN105466351A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510792305.5

    申请日:2015-11-17

    CPC classification number: G01B11/2441

    Abstract: 本发明涉及一种用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及其设计方法,属于非球面检测技术领域。该补偿器包括,一个用于部分地补偿被测凸非球面的三级像差的折射式透镜和一个中心开口的球面反射镜,球面反射镜顶点位置近似位于折射式透镜的像方焦平面上,并与折射式透镜组成同轴结构,被测凸非球面与折反式部分补偿器共轴。根据光线追迹和三级像差理论,推导并计算折反式部分补偿器在检验光路中的初始结构参数,采用光学设计仿真软件作为设计平台,设置系统初始参数、优化变量、优化目标和优化操作数并进行优化,实现凸非球面反射镜全口径面形误差的检测。本发明简单快速易实现;分析全面合理;凸非球面的像差得到了很好的补偿,部分补偿器的设计难度得以简化。

    用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法

    公开(公告)号:CN105466351B

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201510792305.5

    申请日:2015-11-17

    Abstract: 本发明涉及一种用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及其设计方法,属于非球面检测技术领域。该补偿器包括,一个用于部分地补偿被测凸非球面的三级像差的折射式透镜和一个中心开口的球面反射镜,球面反射镜顶点位置近似位于折射式透镜的像方焦平面上,并与折射式透镜组成同轴结构,被测凸非球面与折反式部分补偿器共轴。根据光线追迹和三级像差理论,推导并计算折反式部分补偿器在检验光路中的初始结构参数,采用光学设计仿真软件作为设计平台,设置系统初始参数、优化变量、优化目标和优化操作数并进行优化,实现凸非球面反射镜全口径面形误差的检测。本发明简单快速易实现;分析全面合理;凸非球面的像差得到了很好的补偿,部分补偿器的设计难度得以简化。

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