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公开(公告)号：CN106247976A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610545687.6
申请日：2016-07-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种大倾角微纳结构表面三维形貌测量的辅助装置和方法，属于光电测量领域。本发明针对被测微纳结构的特征设计正多面体辅助装置，将被测微纳结构固定于辅助装置上，使得某个侧面倾角接近零，此时反射光在物镜的数值孔径之内，能得到较好的测量数据。依次翻转辅助装置的多个面，完成被测微纳结构的多个大倾角面测量。将多次测量得到的三维数据通过坐标旋转变换，再通过特征识别后进行拼接，即可完成大倾角微纳结构表面三维重建。相对于更换高倍率物镜或者高感探测器的解决方案极大降低了成本。
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公开(公告)号：CN106767534B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201611252168.7
申请日：2016-12-30
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及基于FPM的立体显微系统和配套三维面形高分重构方法，属于显微成像、立体图形学、微纳结构表面形貌检测领域。本发明的系统包括旁轴照明系统，根据需求调制发射不同角度照明光束；光学显微系统，对被测样本进行方法成像；光场成像系统，获取被测物体不同视角或方向下的图像；图像采集及处理系统，将图像转化为数字信号并进行处理。本发明利用光场成像系统和重聚焦算法获得被测物体的深度断层切片，利用FPM算法对断层切片进行高分重构，突破了光学系统的物理限制，提高了重构立体图像的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN106247976B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201610545687.6
申请日：2016-07-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种大倾角微纳结构表面三维形貌测量的辅助装置和方法，属于光电测量领域。本发明针对被测微纳结构的特征设计正多面体辅助装置，将被测微纳结构固定于辅助装置上，使得某个侧面倾角接近零，此时反射光在物镜的数值孔径之内，能得到较好的测量数据。依次翻转辅助装置的多个面，完成被测微纳结构的多个大倾角面测量。将多次测量得到的三维数据通过坐标旋转变换，再通过特征识别后进行拼接，即可完成大倾角微纳结构表面三维重建。相对于更换高倍率物镜或者高感探测器的解决方案极大降低了成本。
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公开(公告)号：CN106767534A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611252168.7
申请日：2016-12-30
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/25
CPC classification number: G01B11/2513
Abstract: 本发明涉及基于FPM的立体显微系统和配套三维面形高分重构方法，属于显微成像、立体图形学、微纳结构表面形貌检测领域。本发明的系统包括旁轴照明系统，根据需求调制发射不同角度照明光束；光学显微系统，对被测样本进行方法成像；光场成像系统，获取被测物体不同视角或方向下的图像；图像采集及处理系统，将图像转化为数字信号并进行处理。本发明利用光场成像系统和重聚焦算法获得被测物体的深度断层切片，利用FPM算法对断层切片进行高分重构，突破了光学系统的物理限制，提高了重构立体图像的空间分辨率。
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