公开(公告)号：CN103489936A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201210195543.4

申请日：2012-06-13

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 任晓敏 ,  胡劲华 ,  段晓峰 ,  黄永清 ,  胡服全 ,  蔡世伟 ,  张霞 ,  王琦

IPC: H01L31/0232

CPC classification number: H01L31/02325

Abstract: 本发明涉及半导体技术领域，提供了一种并联多微环光波导探测器。所述探测器包括：滤波腔、由跑道型波导以及探测器芯片组成的探测腔，所述滤波腔由多个等间距设置的微环谐振器并联组成，所述跑道型波导将通过所述滤波腔的下路光信号传输给所述探测器芯片。本发明提出的并联多微环光波导探测器，通过简单的结构设计可以获得光探测器的平顶陡边的响应曲线、具有较宽的自由光谱区域，从而降低了在波分复用系统中光发射端激光器波长的准确性和稳定性要求。本发明同时具有一般光波导探测器易于大规模集成、高响应速度、高量子效率等优点。