公开(公告)号：CN101147239A

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200480041942.9

申请日：2004-12-20

Applicant: 北卡罗来纳大学查珀尔希尔分校 ,  北卡罗来纳州大学

Inventor： 约瑟夫·M.·德西蒙 ,  贾森·P.·罗兰 ,  安斯利·E.·埃克斯纳 ,  爱德华·T.·萨穆尔斯基 ,  R.·祖德·萨穆尔斯基 ,  本杰明·W.·梅诺 ,  拉肯·E.·欧利斯 ,  金格尔·M.·丹尼森

IPC: H01L21/302

Abstract: 本公开主题描述了使用氟化的基于弹性体的材料，尤其是全氟聚醚(PFPE)系材料在高分辨的软或压印光刻应用，例如微米－和纳米级复制品模制中，及有机材料的第一纳米接触模制，使用弹性体模具产生高准确度特征的用途。相应地，公开主题描述了通过使用软或压印光刻，制备独立式的隔离的任何形状纳米结构的方法。

公开(公告)号：CN100517584C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200480041942.9

申请日：2004-12-20

Applicant: 北卡罗来纳大学查珀尔希尔分校 ,  北卡罗来纳州大学

Inventor： 约瑟夫·M.·德西蒙 ,  贾森·P.·罗兰 ,  安斯利·E.·埃克斯纳 ,  爱德华·T.·萨穆尔斯基 ,  R.·祖德·萨穆尔斯基 ,  本杰明·W.·梅诺 ,  拉肯·E.·欧利斯 ,  金格尔·M.·丹尼森

IPC: H01L21/302

Abstract: 本公开主题描述了使用氟化的基于弹性体的材料，尤其是全氟聚醚(PFPE)系材料在高分辨的软或压印光刻应用，例如微米-和纳米级复制品模制中，及有机材料的第一纳米接触模制，使用弹性体模具产生高准确度特征的用途。相应地，公开主题描述了通过使用软或压印光刻，制备独立式的隔离的任何形状纳米结构的方法。