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公开(公告)号:CN104157704A
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201410377497.9
申请日:2014-08-01
Applicant: 华东师范大学
IPC: H01L29/872 , H01L29/12 , H01L21/329
CPC classification number: H01L29/872 , H01L29/417 , H01L29/66969
Abstract: 本发明公开了一种新的Cu2ZnSnS4肖特基二极管结构及制备方法。所述Cu2ZnSnS4肖特基二极管结构包括衬底,金属底电极层,Cu2ZnSnS4薄膜层和金属顶电极层;在所述衬底上,自下而上依次沉积所述金属底电极层、Cu2ZnSnS4薄膜层和金属顶电极层。本发明Cu2ZnSnS4肖特基二极管避免器件结构中出现大的串联电阻,从而优化肖特基二极管的理想因子,有利于提高器件的截止频率,适合应用于高频电路中。本发明所用原料丰富,价格低廉,抗辐射抗衰减能力强,稳定性好,沉积方法较为多样,衬底选择性多,使得器件结构设计比较灵活,制备工艺简单,具广泛应用前景。
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公开(公告)号:CN104157734B
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201410392589.4
申请日:2014-08-11
Applicant: 华东师范大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种铜锌锗硫/铜锌锗硒薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,在钠钙玻璃衬底上,先用射频磁控溅射法制备CuZnGe金属预置层,再进行硫化/硒化处理。本发明中磁控溅射采用单质铜靶,单质锌靶和单质锗靶;硫化反应/硒化反应在真空腔室中进行,将溅射所得的层状金属薄膜前驱体和硫粉/硒粉放置于石墨盒中,进行后硫化/后硒化的处理,得到铜锌锗硫/铜锌锗硒薄膜太阳能电池吸收层。本发明制备的薄膜太阳能电池吸收层具有原料来源丰富,对环境友好,抗辐射抗衰减能力强,稳定性好,制备工艺简单,适用于工业化生产的优点。
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公开(公告)号:CN102610673A
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN201210079048.7
申请日:2012-03-23
Applicant: 华东师范大学
IPC: H01L31/032 , H01L31/072 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种铜锌锡硫化合物薄膜太阳能电池及其制备方法,该薄膜电池包括玻璃衬底、金属背电极层、P型吸收层、n型硫化镉缓冲层、透明氧化物薄膜窗口层及TCO顶电极;所述P型的铜锌锡硫吸收层的制备方法是:使用单靶脉冲激光沉积技术,采用一步法工艺合成,无后续的热处理过程。本发明的太阳能电池具有所含元素矿源丰富且无毒,对环境友好,光电转换率高,稳定性好,结构简单,制备工艺简单,成本低廉的优点。
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公开(公告)号:CN104157734A
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201410392589.4
申请日:2014-08-11
Applicant: 华东师范大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/072 , H01L21/02422 , H01L21/02568 , H01L21/02614 , H01L21/02631 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种铜锌锗硫/铜锌锗硒薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,在钠钙玻璃衬底上,先用射频磁控溅射法制备CuZnGe金属预置层,再进行硫化/硒化处理。本发明中磁控溅射采用单质铜靶,单质锌靶和单质锗靶;硫化反应/硒化反应在真空腔室中进行,将溅射所得的层状金属薄膜前驱体和硫粉/硒粉放置于石墨盒中,进行后硫化/后硒化的处理,得到铜锌锗硫/铜锌锗硒薄膜太阳能电池吸收层。本发明制备的薄膜太阳能电池吸收层具有原料来源丰富,对环境友好,抗辐射抗衰减能力强,稳定性好,制备工艺简单,适用于工业化生产的优点。
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