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公开(公告)号：CN108048802B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201810051634.8
申请日：2018-01-19
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，包括真空腔室、连续送料机构、横向输送机构、蒸发沉积机构及纵向移动机构；采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；采用横向输送机构及纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构相对于基板的水平纵向运动，完成蒸发沉积机构的沉积喷头相对于基板进行全平面的镀膜。具有可控性强、膜厚的均匀性好、结构紧凑及工作效率高的优点。
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公开(公告)号：CN108048802A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201810051634.8
申请日：2018-01-19
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，包括真空腔室、连续送料机构、横向输送机构、蒸发沉积机构及纵向移动机构；采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；采用横向输送机构及纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构相对于基板的水平纵向运动，完成蒸发沉积机构的沉积喷头相对于基板进行全平面的镀膜。具有可控性强、膜厚的均匀性好、结构紧凑及工作效率高的优点。
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公开(公告)号：CN208023081U
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201820088199.1
申请日：2018-01-19
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，包括真空腔室、连续送料机构、水平横向输送机构、蒸发沉积机构及水平纵向移动机构；采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；采用水平横向输送机构及水平纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构相对于基板的水平纵向运动，完成蒸发沉积机构的沉积喷头相对于基板进行全平面的镀膜。具有可控性强、膜厚的均匀性好、结构紧凑及工作效率高的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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