公开(公告)号：CN115050885A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202210596627.2

申请日：2022-05-30

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 张健 ,  丁文泰 ,  姚松平 ,  张卡

IPC: H01L35/34 ,  H01L35/08 ,  H01L35/10 ,  H01L35/32

Abstract: 本发明涉及一种柔性薄膜热电堆及其制备方法，所述热电堆包括：聚酰亚胺（Polyimide，简写为PI）薄膜衬底，衬底的一面设置有第一热电极，另一面设置有第二热电极，同时衬底上包含有数个通孔用于连接第一热电极与第二热电极，从而形成热电堆。本发明还公开了该热电堆的制备方法，包括利用化学溶液法在聚酰亚胺薄膜的两面原位生长金属，分别制得银薄膜与镍薄膜，再利用激光直写方法对银薄膜和镍薄膜进行图形化处理，图形化后的热电极经通孔连接形成热电堆，该热电堆不仅制备流程简单，且尺寸小成本低，有较高的灵敏度以及快速响应等优点，可实现冷热端温度的实时监测，具有高性价比和实用性。

公开(公告)号：CN115308272A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210887817.X

申请日：2022-07-26

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 姚松平 ,  丁文泰 ,  张卡 ,  张永华 ,  张健

IPC: G01N27/22

Abstract: 本发明公开了一种柔性电容型湿度传感器及其制备方法，传感器由下至上包括聚酰亚胺PI柔性衬底、Ag电极层和湿度敏感层。其中，湿度敏感层使用醋酸丁酸纤维素CAB。CAB作为一种适用于电容式湿度传感器的聚合物材料，其具有亲水基团较弱，水分子的吸附量少，吸附的水分子近似单独存在，水分子不容易凝聚等特点。其检测过程如下：在CAB中掺入电解质盐(醋酸钾)后，随着湿度增加，在水分子溶剂化的作用下，离子在相邻位置间的迁移更加自由，离子迁移率增加，使得电解质溶解并电离产生离子，导致湿度敏感层的阻抗变化，从而达到湿度检测的目的。与传统使用CAB制造的湿度传感器相比，电解质的引入使得湿度传感器具有更高的灵敏度，同时具有良好的重复性和柔韧性。