一种集成电路生产过程中低浓度气体的深度处理工艺

    公开(公告)号:CN119656858A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202510054842.3

    申请日:2025-01-14

    Abstract: 本发明属于气体处理技术领域,具体公开了一种集成电路生产过程中低浓度气体的深度处理工艺,通过催化氧化处理系统高效地将ppm级的丙二醇甲醚醋酸酯、异丙醇、甲苯、丁酮等有机气体深度净化至ppb级,有效解决了传统处理工艺处理低浓度气体时存在的成本高、矿化率低、耗时长、净化度低以及易产生二次污染的技术难题。该工艺针对集成电路生产过程中低浓度工业气体的处理,无需提浓等高耗能过程,对气体直接处理降解率提高到99%以上,矿化率提高到95%以上。

    一种过渡金属硫属化合物的氧析出电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN114763619A

    公开(公告)日:2022-07-19

    申请号:CN202011616054.2

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种过渡金属硫属化合物的氧析出电极及其制备方法,方法包括:(1)将经过预处理的导电基底与硒粉或硫粉置于铝箔纸中混合并密封;(2)将步骤(1)得到的反应物体系抽真空后转移至惰性气体保护的手套箱内,并置于已预热的加热套中进行熔融处理得到产物体系;熔融处理的时间为10~50min;熔融处理的温度为200~300℃。过渡金属硫属化合物的氧析出电极采用上述制备方法得到。本发明的制备方法反应时间短、不引入强还原剂、安全性高,进一步地,本发明制备的电极结构不受内部应力影响,超高比例的金属‑硒(M‑Se)键或金属‑硫(M‑S)键可加速电催化析氧反应中羟基化转变进程,提高电极析氧性能和反应稳定性。

    一种复合催化剂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113996295A

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202111341717.9

    申请日:2021-11-12

    Abstract: 本发明公开了一种复合催化剂及其制备方法和应用。该复合催化剂包括活性金属相和氧化物基体相,活性金属相弥散分布于氧化物基体相表面;其中:活性金属相为贵金属单质;活性金属相的粒径为2‑20nm。该复合催化剂的制备方法如下:将含NaBH4溶液滴加到混合液中C中得混合液D,经搅拌反应,即得所述复合催化剂;其中:混合液C中包括:氧化物基体相、分散剂、含贵金属的盐和溶剂;所述溶剂可溶解所述含贵金属的盐;混合液D中,NaBH4的浓度为(1.0‑2.5)*10‑4g/ml;所述反应中,搅拌的转速为≥500rpm。本发明操作简单,且与纯TiO2光催化剂相比,减少了催化剂的用量,极大地提高了催化剂的使用效率。

    一种方酸锂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113443973A

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN202011616037.9

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种方酸锂及其制备方法和应用,其特征在于,其包括如下步骤:将锂源水溶液和方酸水溶液混合反应,将反应产物进一步制成粉末,再依次用水溶解、速冻、冷冻干燥即可。所述方酸锂采用上述制备方法制备得到,所述方酸锂的厚度为50~100nm。本发明的制备方法过程简单,仅通过简单的冻干处理,得到厚度为50~100nm的均匀纳米片。本发明制得的方酸锂的分解电压大幅降低,同时大大提高了电化学活性,此外,还可作为补锂剂应用于锂硫电池和/或锂离子电池。

    一种沉淀法白炭黑的改性方法

    公开(公告)号:CN110395737A

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201910773019.2

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 本发明公开了一种沉淀法白炭黑的改性方法,采用快速高温火焰在气相过程中对白炭黑进行表面改性,以减少沉淀法白炭黑的吸附水和表面羟基,从而降低粉体的热失重,制得白炭黑。本发明通过气体燃料与氧化剂燃烧产生600-2100℃的高温火焰,通过载气将沉淀法白炭黑粉体带入高温火焰,在1-10秒的停留时间内,快速去除沉淀法白炭黑的吸附水和表面羟基,降低粉体的热失重。极短的停留时间可以避免粉体的烧结,改善其分散性能。由于此法操作简单,成本较低,连续化的改性方式可以实现工业化应用。

    一种氧化亚锡纳米片的制备方法

    公开(公告)号:CN102642865B

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201210153297.6

    申请日:2012-05-17

    Abstract: 本发明涉及一种氧化亚锡纳米片的制备方法,该方法具体以辛酸亚锡的乙醇溶液作为前驱体,利用进料器将前驱体溶液通入燃烧反应器,辛酸亚锡前驱体在反应室中进行燃烧热解,与此同时在火焰上方通入氮气快速淬冷,促使氧化亚锡纳米片的形成。该制备方法具有连续化生产,生产周期短,产量高的优点,而且制备出的氧化亚锡呈现纳米级片状结构,具有高的可逆容量和优异的循环性能,可用作锂离子电池负极材料。

    一种碳包覆核壳结构纳米颗粒的连续化制备方法

    公开(公告)号:CN101954480B

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201010534879.X

    申请日:2010-11-08

    Abstract: 本发明涉及一种碳包覆核壳结构纳米颗粒的连续化制备方法,如碳包覆金属氧化物、碳包覆金属、碳包覆金属碳化物以及碳包覆金属合金纳米颗粒的连续化制备方法。该方法如下:在火焰燃烧过程中,通过控制燃料氧气比,在反应器内部形成不同程度的还原气氛,把金属盐的有机溶剂溶液雾化后加入反应器,进行不完全燃烧,反应区温度为1000~1800℃。前驱体在高温下不同程度的还原气氛中经热分解、成核、生长和原位碳包覆,最终形成碳包覆核壳结构纳米颗粒。所得的核壳结构材料中纳米颗粒被碳有效地包覆,有较好的热稳定性、酸碱稳定性。采用本发明的方法制备碳包覆纳米颗粒的纳米核壳结构,设备工艺简单,不需任何基板,可连续化规模化生产,易于工业化实施。

    一种氧化硅包银的核壳结构纳米颗粒的制备方法

    公开(公告)号:CN102784928A

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN201210333445.2

    申请日:2012-09-11

    Abstract: 本发明公开了一种氧化硅包银的核壳结构纳米颗粒的制备方法。该制备方法如下:将银的前驱体和硅的前驱体溶于无水乙醇中,配制成前驱体混合溶液。前驱体混合溶液经雾化后通入喷雾火焰燃烧器。银纳米颗粒在火焰中通过热解反应生成,并在其表面原位生成一层氧化硅壳层,最终形成氧化硅包银的核壳结构颗粒。采用本发明的方法可一步制备氧化硅包银核壳结构颗粒,且包覆均匀,银核无裸露且无针孔,简单快速,产品纯度高。

    一种具有核壳结构的纳米复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN102779986A

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN201210236230.9

    申请日:2012-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种具有核壳结构的纳米复合材料的制备方法,将含铜前驱体的醇溶液雾化后通入燃烧反应器进行水解反应,同时在燃烧反应器内通入氮气稀释的乙炔气体。在火焰中首先生成纳米铜颗粒,然后乙炔在纳米铜颗粒的表面分解生成纳米碳管,最终得到一种具有核壳结构的纳米铜/纳米碳管复合材料。该方法设备工艺简单,可连续化生产,易于工业化实施,可应用在锂离子电池、导电材料、场发射增强材料等领域。

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