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公开(公告)号：CN113915282B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202111138128.0
申请日：2021-09-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种紧凑型宽域高线性度磁负刚度机构，属于减振领域，其包括定子永磁体和动子永磁体，定子永磁体和动子永磁体均沿着两个相互正交的阵列方向呈二维阵列形式布置，两个相互正交的阵列方向为第一、第二阵列方向，所有定子永磁体的励磁方向均与第一阵列方向相同，且与所有动子永磁体的励磁方向相反，在同一个阵列方向上，定子永磁体与动子永磁体交替布置且间距相等，通过对动子永磁体和定子永磁体间吸引力和排斥力进行组合，使得定子永磁体与动子永磁体在第二阵列方向上的作用力呈现负刚度特性，该方向作为用于降低与外界所匹配的隔振器的刚度的方向。本发明的磁负刚度机构在相对较宽的振动行程内表现出高线性度、高幅值的负刚度特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113700788A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110990144.6
申请日：2021-08-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种包含组合型磁负刚度机构的近零刚度隔振系统，涉及隔振领域，其包括底座、负载平台、正刚度单元和组合型磁负刚度单元，正刚度单元和组合型磁负刚度单元位于底座和负载平台之间，正刚度单元和组合型磁负刚度单元并联，正刚度单元包括正刚度特性的弹性元件，弹性元件设置在底座和负载平台之间，组合型磁负刚度单元包括至少一个斥力型磁负刚度机构和至少一个吸力型磁负刚度机构，斥力型磁负刚度机构和吸力型磁负刚度机构并联。本发明为组合型的结构设计，可方便调节和匹配斥力型与吸力型磁负刚度机构的参数，能大幅提升隔振系统有效工作范围和刚度线性度，在宽的工作区域内实现综合刚度近零且工作稳定的隔振效果。
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公开(公告)号：CN118912146A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411326327.8
申请日：2024-09-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/00 , F16F15/023 , F16F15/027 , F16F15/03 , F16F15/04
Abstract: 本申请属于超精密减振领域，公开了一种真空环境兼容的精密主动减振器，包括：顶板、底板和减振单元，减振单元包括并联的被动减振单元和主动减振单元，主动减振单元设置于顶板和底板之间，且位于空气弹簧外，被动减振单元包括同轴且竖直设置的空气弹簧和磁负刚度弹簧；空气弹簧包括主气室，主气室的底部连接有金属密封波纹管，主气室的顶端与顶板柔性连接；金属密封波纹管的底端密封固定于底板上，使主气室成真空密闭腔；磁负刚度弹簧设置于空气弹簧内，且其顶端固定于空腔的上壁上，其底端与底板柔性连接。本申请具有优异的隔振性能且具有良好的真空环境适应性，满足EUV光刻机等设备的隔振需求。
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公开(公告)号：CN114151488A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111350520.1
申请日：2021-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种刚度可调的紧凑型宽域高线性度磁负刚度装置，属于减振领域，其包括定子框架、动子框架、磁负刚度部件、弹性导向部件和刚度调节部件，磁负刚度部件包括动子永磁体组件和定子永磁体组件，动子永磁体组件包括多个动子永磁体，定子永磁体组件包括多个动子永磁体，定子框架用于固定定子永磁体组件和弹性导向部件，动子框架用于固定动子永磁体组件，动子框架整体设置在定子框架包围的空间内，所有的定子永磁体和所有的动子永磁体均沿着两个相互正交的阵列方向呈二维阵列形式布置，弹性导向部件固定在定子框架上，刚度调节部件用于调节综合刚度。本发明的磁负刚度装置在相对较宽的振动行程内表现出高线性度、高幅值的负刚度特性。
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公开(公告)号：CN114151488B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202111350520.1
申请日：2021-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种刚度可调的紧凑型宽域高线性度磁负刚度装置，属于减振领域，其包括定子框架、动子框架、磁负刚度部件、弹性导向部件和刚度调节部件，磁负刚度部件包括动子永磁体组件和定子永磁体组件，动子永磁体组件包括多个动子永磁体，定子永磁体组件包括多个动子永磁体，定子框架用于固定定子永磁体组件和弹性导向部件，动子框架用于固定动子永磁体组件，动子框架整体设置在定子框架包围的空间内，所有的定子永磁体和所有的动子永磁体均沿着两个相互正交的阵列方向呈二维阵列形式布置，弹性导向部件固定在定子框架上，刚度调节部件用于调节综合刚度。本发明的磁负刚度装置在相对较宽的振动行程内表现出高线性度、高幅值的负刚度特性。
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公开(公告)号：CN113915282A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111138128.0
申请日：2021-09-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种紧凑型宽域高线性度磁负刚度机构，属于减振领域，其包括定子永磁体和动子永磁体，定子永磁体和动子永磁体均沿着两个相互正交的阵列方向呈二维阵列形式布置，两个相互正交的阵列方向为第一、第二阵列方向，所有定子永磁体的励磁方向均与第一阵列方向相同，且与所有动子永磁体的励磁方向相反，在同一个阵列方向上，定子永磁体与动子永磁体交替布置且间距相等，通过对动子永磁体和定子永磁体间吸引力和排斥力进行组合，使得定子永磁体与动子永磁体在第二阵列方向上的作用力呈现负刚度特性，该方向作为用于降低与外界所匹配的隔振器的刚度的方向。本发明的磁负刚度机构在相对较宽的振动行程内表现出高线性度、高幅值的负刚度特性。
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