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公开(公告)号:CN104232241B
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201410536296.9
申请日:2014-10-13
IPC: C10L9/10
Abstract: 本发明涉及一种燃煤添加剂及其制备方法。其技术方案是:燃煤添加剂的原料及其含量是:催化剂为40~55wt%,氧化剂为25~35wt%,氯化钠为10~20wt%,五水偏硅酸钠为2~6wt%,木质素磺酸钠为0.05~0.15wt%。按所述原料及其含量:先按固液质量比为1︰(2~4)将木质素磺酸钠溶解于水中,制得助磨剂溶液;再将制得的助磨剂溶液均匀地喷洒在催化剂表面,在球磨机中研磨至粒径小于100μm,得到研磨后的细粉;然后将研磨后的细粉与氧化剂、氯化钠、五水偏硅酸钠和为原料质量2~4倍的水混合,在剪切搅拌机上高速搅拌,得到燃煤添加剂。本发明具有成本低廉、节约资源和环境友好的特点,制备的燃煤添加剂使用方便、燃烧效果好和易于推广,适用于水泥工业窑炉。
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公开(公告)号:CN102052907A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010548877.6
申请日:2010-11-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于投影莫尔原理的共面度测量系统,包括冷光源(1),准直透镜(3),CCD摄像机(2,4),LCD面板(5),投影透镜(6),光学平台(7),高精度移动台(8)和计算机(9)。所述LCD面板(5)上显示通过所述计算机(9)产生的条纹图案,所述冷光源(1)发出的光经所述准直透镜(3)后照射到所述LCD面板(5)上,将显示在所述LCD面板(5)上的条纹图案投影到被装载在高精度移动台(8)上的参考平面或者待测物表面上,所述CCD摄像机为两个,对称设置于LCD面板(5)两侧。本发明的测量面积和测量精度都得到很大提高,能够满足当今封装测试中所需要的大面积、高精度实时快速测量的要求。
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公开(公告)号:CN1619259A
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN200410061275.2
申请日:2004-12-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性传感器的制作方法,步骤为:制作刚性传感器;在刚性传感器的晶片前表面上旋涂一层10-15μm厚的聚酰亚胺,再甩20-30μm厚的光刻胶;晶片后表面被深刻蚀减至60-80μm厚,形成硅岛;在后表面沉积一层300-500nm厚的氮化硅,光刻成形后,刻蚀硅片直到金属层;然后采用反应离子刻蚀方法刻蚀步骤(4)沉积的氮化硅;旋涂另一层10-15μm厚的聚酰亚胺于后表面来覆盖硅岛,即获得传感器可以卷曲起来,并广泛应用于非平面表面。柔性传感器制作成创可贴式的,随意贴于人体皮肤上,也可以运用于飞行器的控制领域。柔性传感器作为一个的新发展领域,将大大促进MEMS传感器的应用前景和应用范围。
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公开(公告)号:CN1594067A
公开(公告)日:2005-03-16
申请号:CN03156716.9
申请日:2003-09-08
Applicant: 华中科技大学机械科学与工程学院
IPC: B81C5/00
Abstract: 一种低温集成的圆片级MEMS气密性封装工艺,包括以下步骤:1.在硅基片(1)上,蒸发淀积一层铝/铬层(2);2.在铝/铬层(2)及MEMS器件(12)的上面,投铸一层光刻胶(3),烘干;3.在硅基片(1)的上表面、铝/铬层(2)和光刻胶(3)上,蒸发淀积一层金/铬层(4);4.在金/铬层(4)的周围涂铸一层树脂胶(5);5.在树脂胶(5)中,电镀一层镍层(6);6.暴露出铝/铬层(2);7.形成牺牲孔(9);8.将光刻胶(3)去掉;9.在原来铝/铬(2)层的位置,溅射淀积金/铬层(7);10.电镀金层(8),以封住牺牲孔(9)。本发明与现有技术相比,具有不变形、封装质量高、体积减小、工艺简单、成本低的优点。
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公开(公告)号:CN102531571A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201210042603.9
申请日:2012-02-23
Applicant: 华中科技大学 , 武汉虹信通信技术有限责任公司
IPC: C04B35/465 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种高Q值中介电常数的微波介质陶瓷及其制备方法,涉及微波介质陶瓷。本发明采用一种新型的材料体系:碳酸钙(CaTiO3)和镓酸镧(LaGaO3)两相复合获得xCaTiO3-(1-x)LaGaO3(x=0.66~0.62)微波介质陶瓷,其组分按质量百分比:CaCO325~35%;TiO2 15~30%;La2O320~35%;Ga2O310~25%;所述CaCO3和TiO2的纯度均大于或等于99.0%,La2O3和Ga2O3的纯度均大于或等于99.9%。本发明具有良好的微波介电性能;生产工艺过程简单,重复性良好;可广泛应用于性能优异的介质谐振器、滤波器及双工器等微波器件的制备,满足通信基站等系统的技术需求。
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公开(公告)号:CN1556027A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN200410012626.0
申请日:2004-01-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C5/00 , H01L21/306
Abstract: 本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具,然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀,得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造,是通过叠层制造的方法获得,其中每一单层的制作属于二维平面结构制造,因此与集成电路工艺完全兼容;将对准过程集中在三维模具的制作过程中一次完成,降低了模压刻蚀工艺对套刻对准需求,提高了生产效率。此外,可以使用一块三维模具对不同材料多次重复使用,进行大批量生产,进一步降低了成本。
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公开(公告)号:CN104232241A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410536296.9
申请日:2014-10-13
IPC: C10L9/10
Abstract: 本发明涉及一种燃煤添加剂及其制备方法。其技术方案是:燃煤添加剂的原料及其含量是:催化剂为40~55wt%,氧化剂为25~35wt%,氯化钠为10~20wt%,五水偏硅酸钠为2~6wt%,木质素磺酸钠为0.05~0.15wt%。按所述原料及其含量:先按固液质量比为1︰(2~4)将木质素磺酸钠溶解于水中,制得助磨剂溶液;再将制得的助磨剂溶液均匀地喷洒在催化剂表面,在球磨机中研磨至粒径小于100μm,得到研磨后的细粉;然后将研磨后的细粉与氧化剂、氯化钠、五水偏硅酸钠和为原料质量2~4倍的水混合,在剪切搅拌机上高速搅拌,得到燃煤添加剂。本发明具有成本低廉、节约资源和环境友好的特点,制备的燃煤添加剂使用方便、燃烧效果好和易于推广,适用于水泥工业窑炉。
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公开(公告)号:CN102052907B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201010548877.6
申请日:2010-11-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于投影莫尔原理的共面度测量系统,包括冷光源(1),准直透镜(3),CCD摄像机(2,4),LCD面板(5),投影透镜(6),光学平台(7),高精度移动台(8)和计算机(9)。所述LCD面板(5)上显示通过所述计算机(9)产生的条纹图案,所述冷光源(1)发出的光经所述准直透镜(3)后照射到所述LCD面板(5)上,将显示在所述LCD面板(5)上的条纹图案投影到被装载在高精度移动台(8)上的参考平面或者待测物表面上,所述CCD摄像机为两个,对称设置于LCD面板(5)两侧。本发明的测量面积和测量精度都得到很大提高,能够满足当今封装测试中所需要的大面积、高精度实时快速测量的要求。
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公开(公告)号:CN1644484A
公开(公告)日:2005-07-27
申请号:CN200510018220.8
申请日:2005-01-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具,在托盘上装有二套或三套夹紧装置,每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成,该机构的结构为,第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接,第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接,在第一连杆的另一端固定第一压片,第一弹簧的两端分别接在第一主动杆的另一端及支座上,第一主动杆通过第一销轴接在支座上,第一从动杆的另一端通过第二销轴接在支座上,支座与托盘相固定。本发明定位精度高;采用平行四杆机构实现双稳态,使定位和夹紧更加合理,不易损坏MEMS器件;操作简单,既可实现自动化操作,也可手动操作;适用于真空环境下的MEMS器件的阳极键合、共晶键合等定位精度要求高的场合。
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公开(公告)号:CN1492224A
公开(公告)日:2004-04-28
申请号:CN03125367.9
申请日:2003-09-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要,研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置,它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热-机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机,可实现10-500Hz的动态加载频率;以及采用光学逆相散射法,直接测量微小样品面内与离面的三维变形,以消除工作台刚性引起的误差。
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