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公开(公告)号：CN102901997A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210342194.4
申请日：2012-09-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种曲面仿生复眼的制备方法，具体为：在衬底上制备微凹透镜阵列；在凹透镜阵列表面沉积聚二甲基硅氧烷，固化处理后将其与凹透镜阵列分离得到聚二甲基硅氧烷的微凸透镜阵列；将SU-8光刻胶滴在曲面基底的下表面，待SU-8冷却固化后，将聚二甲基硅氧烷微透凸镜阵列四周固定在曲面基底的上表面；对曲面基底上表面进行紫外曝光，再对SU-8胶后烘得到自对准的波导阵列。本发明放弃了直接在曲面基底上制作微凸透镜阵列的方法，先制作出平面微凸透镜阵列后再利用材料的弹性制作出曲面微透镜阵列，同时采用自对准方法制作晶锥波导，该方法能够制备出微米级的曲面透镜阵列，有效减少了透镜和波导对准时带来的误差，同时精确的控制曲面曲率，具有良好的可重复性。
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公开(公告)号：CN102730629A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210207100.2
申请日：2012-06-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行光刻工艺，以在凸台结构上形成其直径小于凸台直径的圆柱形结构；将所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；以及通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。通过本发明，能够有效避免光刻胶热熔法所存在的接触角不足、透镜球面面型误差较大的缺陷，并制备高质量、小接触角且尺寸更大的微透镜产品。
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公开(公告)号：CN102901997B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210342194.4
申请日：2012-09-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种曲面仿生复眼的制备方法，具体为：在衬底上制备微凹透镜阵列；在凹透镜阵列表面沉积聚二甲基硅氧烷，固化处理后将其与凹透镜阵列分离得到聚二甲基硅氧烷的微凸透镜阵列；将SU-8光刻胶滴在曲面基底的下表面，待SU-8冷却固化后，将聚二甲基硅氧烷微透凸镜阵列四周固定在曲面基底的上表面；对曲面基底上表面进行紫外曝光，再对SU-8胶后烘得到自对准的波导阵列。本发明放弃了直接在曲面基底上制作微凸透镜阵列的方法，先制作出平面微凸透镜阵列后再利用材料的弹性制作出曲面微透镜阵列，同时采用自对准方法制作晶锥波导，该方法能够制备出微米级的曲面透镜阵列，有效减少了透镜和波导对准时带来的误差，同时精确的控制曲面曲率，具有良好的可重复性。
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公开(公告)号：CN102730629B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210207100.2
申请日：2012-06-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行光刻工艺，以在凸台结构上形成其直径小于凸台直径的圆柱形结构；将所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；以及通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。通过本发明，能够有效避免光刻胶热熔法所存在的接触角不足、透镜球面面型误差较大的缺陷，并制备高质量、小接触角且尺寸更大的微透镜产品。
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