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公开(公告)号：CN100417495C
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200610040168.0
申请日：2006-04-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特点在于将超细磨料加入海藻酸盐溶液中，用搅拌器进行充分搅拌使得超细微粉在藻酸钠盐溶液中均匀分布；然后将含有超细微粉的海藻酸钠盐溶液涂覆于一种网格状结构的无纺布之上并用双面胶粘贴在抛光基盘上，利用一种抹平装置进行平整化处理做成薄膜形状，然后将其放入含Ca2+的溶液中进行迅速固化并放置几个小时，从而制备成抛光膜。本发明的抛光膜制造成本低廉，不仅可以提高抛光效率，而且可以减少抛光液对环境的污染问题。
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公开(公告)号：CN100404203C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200410041972.1
申请日：2004-09-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石磨抛片的制备方法，它是基于化学凝胶原理将含有金刚石超细微粉的藻酸钠盐溶液滴到含有Ca2+的溶液中制备成金刚石凝胶球，然后将上述凝胶球加入粘结剂粘结起来制备成磨抛片。本发明所提供的方法可从根本上解决金刚石微粉在固结过程中的团聚问题，从而可以实现金刚石工具的高效磨抛加工硅片。
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公开(公告)号：CN1843701A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200610040168.0
申请日：2006-04-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种超细微粉抛光膜的制备方法，其特点在于将超细磨料加入海藻酸盐溶液中，用搅拌器进行充分搅拌使得超细微粉在藻酸钠盐溶液中均匀分布；然后将含有超细微粉的藻酸钠盐溶液涂覆于一种网格状结构的无纺布之上并用双面胶粘贴在抛光基盘上，利用一种抹平装置进行平整化处理做成薄膜形状，然后将其放入含Ca2+的溶液中进行迅速固化并放置几个小时，从而制备成抛光膜。本发明的抛光膜制造成本低廉，不仅可以提高抛光效率，而且可以减少抛光液对环境的污染问题。
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公开(公告)号：CN1597259A
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN200410041972.1
申请日：2004-09-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石磨抛片的制备方法，它是基于化学凝胶原理将含有金刚石超细微粉的藻酸钠盐溶液滴到含有Ca2+的溶液中制备成金刚石凝胶球，然后将上述凝胶球加入粘结剂粘结起来制备成磨抛片。本发明所提供的方法可从根本上解决金刚石微粉在固结过程中的团聚问题，从而可以实现金刚石工具的高效磨抛加工硅片。
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