公开(公告)号：CN114199138B

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202210024968.2

申请日：2022-01-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 周东方 ,  程方 ,  余卿 ,  张雅丽 ,  苏杭 ,  张岩 ,  陈涛 ,  邹彤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法，该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本发明提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。

公开(公告)号：CN114485472A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210131938.1

申请日：2022-02-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  张岩 ,  崔长彩 ,  苏杭 ,  陈涛 ,  葛明鑫 ,  周东方 ,  邹彤 ,  余卿

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及方法、系统，包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块；高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件，外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端，误差光学测量组件配置在测量桥组件第一端面，外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件上表面耦合形成薄膜气隙，测量桥组件随二维运动模组作二维直线运动，带动误差光学测量组件作二维运动；误差光学测量组件配置为将外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件发生靠近或远离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有光学三维测量方案存在测量精度低，成本高昂的问题。

公开(公告)号：CN114485471A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210131865.6

申请日：2022-02-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  张岩 ,  崔长彩 ,  苏杭 ,  周东方 ,  陈涛 ,  邹彤 ,  余晚珮 ,  余卿

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及方法、系统，包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件；二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构，外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上，外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙，外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件，测量桥组件用于采集待测工件形貌值，外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动；高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低，成本高昂，装调要求严苛的问题。

公开(公告)号：CN114199138A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202210024968.2

申请日：2022-01-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 周东方 ,  程方 ,  余卿 ,  张雅丽 ,  苏杭 ,  张岩 ,  陈涛 ,  邹彤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法，该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本发明提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。

公开(公告)号：CN216791124U

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202220337538.1

申请日：2022-02-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  张岩 ,  崔长彩 ,  苏杭 ,  周东方 ,  陈涛 ,  邹彤 ,  余晚珮 ,  余卿

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及其系统，包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件；二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构，外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上，外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙，外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件，测量桥组件用于采集待测工件形貌值，外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动；高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低，成本高昂，装调要求严苛的问题。

公开(公告)号：CN217637202U

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202220056236.7

申请日：2022-01-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 周东方 ,  程方 ,  余卿 ,  张雅丽 ,  苏杭 ,  张岩 ,  陈涛 ,  邹彤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型涉及一种基于像栅的直线位移测量系统。该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本实用新型提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。

公开(公告)号：CN217110835U

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202220289302.5

申请日：2022-02-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  张岩 ,  崔长彩 ,  苏杭 ,  陈涛 ,  葛明鑫 ,  周东方 ,  邹彤 ,  余卿

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及其系统，包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块；高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件，外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端，误差光学测量组件配置在测量桥组件第一端面，外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件上表面耦合形成薄膜气隙，测量桥组件随二维运动模组作二维运动，带动误差光学测量组件作二维运动；误差光学测量组件配置为将外置基准光学平晶的下表面与误差光学测量组件发生靠近或远离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件的形貌值。旨在解决现有光学三维测量方案存在测量精度低，成本高昂的问题。

公开(公告)号：CN217740508U

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202221838983.2

申请日：2022-07-18

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  葛明鑫 ,  崔长彩 ,  张岩 ,  陈涛

IPC: H01L21/687

Abstract: 本实用新型提供了一种用于承载不同直径衬底的承载样品台及其装置，包括承载衬底直径依次递减的第一、第二、第三、第四承载机构；第一承载机构包括中心部为空的第一承载面、可拆卸配置在第一承载面的第一位置上的第一悬臂梁结构，第一悬臂梁结构用于承载衬底，第一承载面的第二位置用于与承载样品装置可拆卸连接；依次类推，可得到第二、第三、第四承载机构，第二承载面的第二位置可拆卸配置在第一承载面的第一位置上，第三承载面的第二位置可拆卸配置在第二承载面的第一位置上，所述第四承载面的第二位置可拆卸配置在第三承载面的第一位置上。此外，现有承载设备在承载大直径衬底时，存在补偿范围过大，影响补偿精度、测量具有不确定度的问题。