一种沟槽研磨盘及一种沟槽研磨盘的制作方法

    公开(公告)号:CN110948381A

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201911233904.8

    申请日:2019-12-05

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种沟槽研磨盘及一种沟槽研磨盘的制作方法,研磨盘上设置有沟槽;所述沟槽由半径逐渐扩大的多个同心圆沟槽和多个等距设置的螺旋线沟槽耦合而成;所述螺旋线的中心与同心圆沟槽的圆心同心;所述研磨盘上沿径向从内至外分为第一区域、第二区域及第三区域;所述第一区域及第三区域的同心圆沟槽之间的距离大于所述第二区域的同心圆沟槽之间的距离。应用本技术方案可实现提高研磨抛光过程中的研磨液的流动性能,明显改善磨盘堵塞磨损的问题。

    一种沟槽研磨盘及一种沟槽研磨盘的制作方法

    公开(公告)号:CN110948381B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN201911233904.8

    申请日:2019-12-05

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种沟槽研磨盘及一种沟槽研磨盘的制作方法,研磨盘上设置有沟槽;所述沟槽由半径逐渐扩大的多个同心圆沟槽和多个等距设置的螺旋线沟槽耦合而成;所述螺旋线的中心与同心圆沟槽的圆心同心;所述研磨盘上沿径向从内至外分为第一区域、第二区域及第三区域;所述第一区域及第三区域的同心圆沟槽之间的距离大于所述第二区域的同心圆沟槽之间的距离。应用本技术方案可实现提高研磨抛光过程中的研磨液的流动性能,明显改善磨盘堵塞磨损的问题。

    一种耐水多孔菱苦土磨具及其制备方法

    公开(公告)号:CN114315307A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202210095309.8

    申请日:2022-01-26

    Applicant: 华侨大学

    Inventor: 方从富 彭正一

    Abstract: 本发明提供了一种耐水多孔菱苦土磨具及其制备方法,属于菱苦土磨具生产领域,所述耐水多孔菱苦土磨具的原料包括氯化镁、水、轻烧氧化镁、磨料、磷酸或磷酸盐、矿粉、空心微球。本发明还提供一种制备上述磨具的制备方法,本发明的有益效果在于:磨具具有较高的耐水性和孔隙率,适用于冷却液环境中加工,不易发生磨盘堵塞,提高了菱苦土磨具的加工性能。

    一种沟槽研磨盘
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212218161U

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201922157786.9

    申请日:2019-12-05

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本实用新型提供了一种沟槽研磨盘,研磨盘上设置有沟槽;所述沟槽由半径逐渐扩大的多个同心圆沟槽和多个等距设置的螺旋线沟槽耦合而成;所述螺旋线的中心与同心圆沟槽的圆心同心;所述研磨盘上沿径向从内至外分为第一区域、第二区域及第三区域;所述第一区域及第三区域的同心圆沟槽之间的距离大于所述第二区域的同心圆沟槽之间的距离。应用本技术方案可实现提高研磨抛光过程中的研磨液的流动性能,明显改善磨盘堵塞磨损的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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