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公开(公告)号：CN104900573B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201510311979.9
申请日：2015-06-09
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种对称式差动杠杆微位移放大装置，包括底座、固定在所述底座上的基板和与所述基板位于同一平面上的压电块，所述压电块具有一个顶压部和两个分别位于所述顶压部两端且以所述顶压部的中垂线为中心对称放置的传动部，两个所述传动部分别连接有一组与所述基板位于同一平面上的杠杆组件，且两组所述杠杆组件以所述顶压部的中垂线为中心对称放置，两所述传动部之间放置有抵顶在所述顶压部上的压电陶瓷驱动器；通过设置杠杆组件，利用差动杠杆放大的原理，实现较大的位移放大倍数，具有较大的行程，同时由于采用了柔性铰接的方式进行连接，各杆件之间的间隙和摩擦力较小，能降低误差，精度较高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104713466B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201510115493.8
申请日：2015-03-17
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开一种高精度差动式多层环形电容测微仪，包括有金属外壳、动电容体以及两静电容体；动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，动电容体连接有金属导向轨，金属导向轨与金属外壳直接配合接触，金属导向轨的末端伸出金属外壳并与一测头连接；一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，藉此，使得电容静极板与对应的电容动极板组成多组环状并联电容，多组环状并联电容的变化形态相同，各组差动变化累加，从而增大了微动时电容静极板与电容动极板之间的面积变化量，从而使得系统更具稳定性、抗干扰性，有效提高了测量精度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN104900573A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510311979.9
申请日：2015-06-09
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种对称式差动杠杆微位移放大装置，包括底座、固定在所述底座上的基板和与所述基板位于同一平面上的压电块，所述压电块具有一个顶压部和两个分别位于所述顶压部两端且以所述顶压部的中垂线为中心对称放置的传动部，两个所述传动部分别连接有一组与所述基板位于同一平面上的杠杆组件，且两组所述杠杆组件以所述顶压部的中垂线为中心对称放置，两所述传动部之间放置有抵顶在所述顶压部上的压电陶瓷驱动器；通过设置杠杆组件，利用差动杠杆放大的原理，实现较大的位移放大倍数，具有较大的行程，同时由于采用了柔性铰接的方式进行连接，各杆件之间的间隙和摩擦力较小，能降低误差，精度较高。
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公开(公告)号：CN104713466A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510115493.8
申请日：2015-03-17
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开一种高精度差动式多层环形电容测微仪，包括有金属外壳、动电容体以及两静电容体；动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，动电容体连接有金属导向轨，金属导向轨与金属外壳直接配合接触，金属导向轨的末端伸出金属外壳并与一测头连接；一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，藉此，使得电容静极板与对应的电容动极板组成多组环状并联电容，多组环状并联电容的变化形态相同，各组差动变化累加，从而增大了微动时电容静极板与电容动极板之间的面积变化量，从而使得系统更具稳定性、抗干扰性，有效提高了测量精度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN204741009U
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201520392508.0
申请日：2015-06-09
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/68
Abstract: 本实用新型提供一种对称式差动杠杆微位移放大装置，包括底座、固定在所述底座上的基板和与所述基板位于同一平面上的压电块，所述压电块具有一个顶压部和两个分别位于所述顶压部两端且以所述顶压部的中垂线为中心对称放置的传动部，两个所述传动部分别连接有一组与所述基板位于同一平面上的杠杆组件，且两组所述杠杆组件以所述顶压部的中垂线为中心对称放置，两所述传动部之间放置有抵顶在所述顶压部上的压电陶瓷驱动器；通过设置杠杆组件，利用差动杠杆放大的原理，实现较大的位移放大倍数，具有较大的行程，同时由于采用了柔性铰接的方式进行连接，各杆件之间的间隙和摩擦力较小，能降低误差，精度较高。
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公开(公告)号：CN204479013U
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201520149939.4
申请日：2015-03-17
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本实用新型公开一种高精度差动式多层环形电容测微仪，包括有金属外壳、动电容体以及两静电容体；动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，动电容体连接有金属导向轨，金属导向轨与金属外壳直接配合接触，金属导向轨的末端伸出金属外壳并与一测头连接；一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，藉此，使得电容静极板与对应的电容动极板组成多组环状并联电容，多组环状并联电容的变化形态相同，各组差动变化累加，从而增大了微动时电容静极板与电容动极板之间的面积变化量，从而使得系统更具稳定性、抗干扰性，有效提高了测量精度和灵敏度。
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