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公开(公告)号：CN105091785A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510500177.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统，系统包括沿光源发出光线的光路上依次设置准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测砂轮对应于微透镜阵列的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN105067634A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510500219.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号：CN108592814B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201810186622.6
申请日：2018-03-07
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法，包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面，得到彩色共焦测量系统的基本“位移‑波长”曲线；以色卡为被测物，得到各波长的“位移‑波长”曲线；计算各波长的“位移‑波长”曲线相对于基本“位移‑波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向，将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表；利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息，从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi；利用已标定的基本“位移‑波长”曲线，得到对应被测物面上各颜色的“位移‑波长”曲线；根据步骤四得到的“位移‑波长”曲线，计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。
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公开(公告)号：CN108592814A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810186622.6
申请日：2018-03-07
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法，包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面，得到彩色共焦测量系统的基本“位移-波长”曲线；以色卡为被测物，得到各波长的“位移-波长”曲线；计算各波长的“位移-波长”曲线相对于基本“位移-波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向，将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表；利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息，从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi；利用已标定的基本“位移-波长”曲线，得到对应被测物面上各颜色的“位移-波长”曲线；根据步骤四得到的“位移-波长”曲线，计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。
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公开(公告)号：CN105044117A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510500067.6
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于平板表面质量的检测方法与系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本发明将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测平板表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的运动获得待测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105043303A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510500204.6
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN204945056U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520613937.6
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其包括沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本实用新型将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号：CN204944455U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520613878.2
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本实用新型公开了一种用于砂轮表面形貌的检测系统，其包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本实用新型将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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公开(公告)号：CN204945055U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520613899.4
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测平板对应于微透镜阵列的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本实用新型将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测平板表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的运动获得待测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。
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公开(公告)号：CN204944452U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520614001.5
申请日：2015-08-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种用于砂轮表面形貌的检测系统，包括沿光源发出光线的光路上依次设置准直透镜、反射镜、分光镜和微透镜阵列；待测砂轮对应于微透镜阵列的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本实用新型将微透镜阵列作为并行光色散器件，所产生的色散光点阵列可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
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