-
公开(公告)号：CN114695204A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210256476.6
申请日：2022-03-16
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , B24B29/02 , B24B41/00
Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
-
公开(公告)号：CN108982275A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811156694.2
申请日：2018-09-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种超声辅助高速单点划擦试验装置，多层结构砂轮安装在高速精密磨床的主轴上，通过磨床主轴带动多层结构砂轮高速转动；多层结构砂轮沿轴向分布不同粒度的磨削层，不同磨削层间设置凹槽，凹槽中可安装金刚石压头，对刀后通过多层结构砂轮的高速旋转在试样表面产生一定切深的划痕。超声发生器通过导线与换能器、变幅杆相连，使变幅杆产生一定振幅的超声频率振动，换能器安装在测力仪上，测力仪安装在在高速精密磨床的工作台上；试样通过夹具装夹固定于变幅杆上，在变幅杆的带动下产生一定振幅的超声频率振动，并通过高速精密磨床可进行轴向进给、径向进给。本发明实现可超声辅助单颗磨粒的高速划擦，装置简单、操作方便。
-
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108982274A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811156693.8
申请日：2018-09-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种高速单点划擦试验装置，多层结构砂轮沿砂轮基体的轴向分布着多层不同粒径的磨料层。砂轮表面层与层之间设有凹槽，凹槽中安装金刚石压头；测力仪固定在高速平面磨床的工作台上；试样通过夹具装夹固定于测力仪上，采用多层结构砂轮对试样表面进行粗磨、精密和抛光，以获得与砂轮表面曲率相同的光滑圆弧凹面，将金刚石压头安装在多层结构砂轮的凹槽螺纹孔中，通过砂轮的高速旋转和轴向进给运动，在抛光后的试样表面产生固定切深的划痕。测力仪通过信号放大和数据采集获得试样划擦力数据。本发明可实现固定切深的高速单点划擦试验，装置简单，使用方便，对研究高速磨削材料去除机理具有重要意义。
-
公开(公告)号：CN216991361U
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202220568458.7
申请日：2022-03-16
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型涉及一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入粗抛机，并能抓取粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入精抛机，以及能抓取精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本实用新型利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
-
公开(公告)号：CN209215143U
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201821611946.1
申请日：2018-09-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种高速单点划擦试验装置，多层结构砂轮沿砂轮基体的轴向分布着多层不同粒径的磨料层。砂轮表面层与层之间设有凹槽，凹槽中安装金刚石压头；测力仪固定在高速平面磨床的工作台上；试样通过夹具装夹固定于测力仪上，采用多层结构砂轮对试样表面进行粗磨、精密和抛光，以获得与砂轮表面曲率相同的光滑圆弧凹面，将金刚石压头安装在多层结构砂轮的凹槽螺纹孔中，通过砂轮的高速旋转和轴向进给运动，在抛光后的试样表面产生固定切深的划痕。测力仪通过信号放大和数据采集获得试样划擦力数据。本实用新型可实现固定切深的高速单点划擦试验，装置简单，操作方便，对研究高速磨削材料去除机理具有重要意义。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN216863383U
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202220660646.2
申请日：2022-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型涉及一种蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置，包括升降机构和夹爪机构。升降机构具有一活动端和一固定端，活动端能向下伸展或者向上收缩，固定端固定在生长蓝宝石晶坨的长晶炉上。夹爪机构连接于该活动端。夹爪机构通过伸张和收缩夹爪来夹取蓝宝石晶坨。该蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置安装形式简便多样，具体可以安装在长晶炉原有的机械臂上，或者是本装置自带机械臂安装在长晶炉上。该伸缩起吊装置可以实现独立吊运体积大且重的蓝宝石晶坨，而不需要使用外部吊车，可减少蓝宝石晶坨从长晶炉内取出和搬运的操作时间，在节省人力物力的同时也可保障吊装过程的稳定性和安全性，提高生产效率。
-
公开(公告)号：CN209485896U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201821610271.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声辅助高速单点划擦试验装置，多层结构砂轮安装在高速精密磨床的主轴上，通过磨床主轴带动多层结构砂轮高速转动；多层结构砂轮沿轴向分布不同粒度的磨削层，不同磨削区域间设置凹槽，凹槽中可安装金刚石压头，对刀后通过多层结构砂轮的高速旋转在试样表面产生一定切深的划痕。超声发生器通过导线与换能器、变幅杆相连，变幅杆与换能器连接，换能器安装在测力仪上，测力仪安装在在高速精密磨床的工作台上；试样通过夹具装夹固定于变幅杆上，在超声振动系统的作用下工件产生超声振动，并通过高速精密磨床可进行轴向进给、径向进给。本实用新型实现超声辅助单颗磨粒的高速划擦，装置简单、操作方便。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.021 seconds)
