公开(公告)号：CN114193318B

公开(公告)日：2022-12-27

申请号：CN202111532741.0

申请日：2021-12-15

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  籍佩佩 ,  王寒山 ,  徐西鹏 ,  于怡青 ,  赖志远

IPC: B24B37/08 ,  B24B37/34 ,  B24B37/28 ,  B24B37/005 ,  B24B49/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。

公开(公告)号：CN114695204A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202210256476.6

申请日：2022-03-16

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  王寒山 ,  赖志远 ,  陈悦 ,  章玉强 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  B24B29/02 ,  B24B41/00

Abstract: 本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。

公开(公告)号：CN114193318A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202111532741.0

申请日：2021-12-15

Applicant: 华侨大学

Inventor： 胡中伟 ,  籍佩佩 ,  王寒山 ,  徐西鹏 ,  于怡青 ,  赖志远

IPC: B24B37/08 ,  B24B37/34 ,  B24B37/28 ,  B24B37/005 ,  B24B49/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。

公开(公告)号：CN216991361U

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202220568458.7

申请日：2022-03-16

Applicant: 华侨大学

Inventor： 王寒山 ,  胡中伟 ,  赖志远 ,  陈悦 ,  章玉强 ,  于怡青 ,  徐西鹏

IPC: B24B29/02 ,  B24B27/00 ,  B24B41/00 ,  B24B41/06 ,  B24B47/22 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型涉及一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入粗抛机，并能抓取粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入精抛机，以及能抓取精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本实用新型利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。

公开(公告)号：CN216863383U

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202220660646.2

申请日：2022-03-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 王淑寅 ,  胡中伟 ,  赖志远 ,  陈悦 ,  章玉强 ,  王寒山

IPC: B66C1/22 ,  B66C13/12

Abstract: 本实用新型涉及一种蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置，包括升降机构和夹爪机构。升降机构具有一活动端和一固定端，活动端能向下伸展或者向上收缩，固定端固定在生长蓝宝石晶坨的长晶炉上。夹爪机构连接于该活动端。夹爪机构通过伸张和收缩夹爪来夹取蓝宝石晶坨。该蓝宝石晶坨一体式伸缩起吊装置安装形式简便多样，具体可以安装在长晶炉原有的机械臂上，或者是本装置自带机械臂安装在长晶炉上。该伸缩起吊装置可以实现独立吊运体积大且重的蓝宝石晶坨，而不需要使用外部吊车，可减少蓝宝石晶坨从长晶炉内取出和搬运的操作时间，在节省人力物力的同时也可保障吊装过程的稳定性和安全性，提高生产效率。