-
公开(公告)号：CN110108763A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910352643.5
申请日：2019-04-29
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种低温漂电容式湿度传感器，包括衬底，衬底上依次设置有绝缘层和第一钝化层，第一钝化层上设置有多晶硅电极，多晶硅电极上方设置有叉指负电极和叉指正电极，叉指正电极表面覆有一层湿度敏感介质；叉指负电极和叉指正电极形成叉指结构，叉指负电极和叉指正电极之间有第一空气层，构成水平电容；叉指正电极与其下方的第二多晶硅电极直接连接，叉指负电极与其下方的第一多晶硅电极之间设置有第二空气层，且第一多晶硅电极上覆有第二钝化层，叉指负电极与第一多晶硅电极构成垂直电容。本发明提供的低温漂电容式湿度传感器，具有温漂低，响应快，面积相对较小，集成化的优点。
-
公开(公告)号：CN110108382A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910344138.6
申请日：2019-04-26
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层电感式无源无线温度传感器，包括衬底、顶金属电感线圈、底金属电感线圈、光刻胶；所述底金属电感线圈设置在衬底上表面，底金属电感线圈上覆盖有一层光刻胶，顶金属电感线圈设置在光刻胶表面；光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成平板电容结构。光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成的平板电容结构，即形成传感器的LC谐振回路，当温度发生变化时，传感器谐振回路的Q值会发生变化，因此检测回路的Q值或者阻抗最大值即可实现对于温度的检测。本发明的双层电感式无源无线温度传感器具有结构简单，加工方便，灵敏度高等优点。
-
公开(公告)号：CN209894749U
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201920601594.X
申请日：2019-04-29
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本实用新型公开了一种双电容式温湿度传感器，包括衬底，衬底上依次设置有绝缘层和第一钝化层，第一钝化层上设置有多晶硅电极，多晶硅电极上方设置有叉指负电极和叉指正电极，叉指正电极表面覆有一层湿度敏感介质；叉指负电极和叉指正电极形成叉指结构，叉指负电极和叉指正电极之间有第一空气层，构成水平电容；叉指正电极与其下方的第二多晶硅电极直接连接，叉指负电极与其下方的第一多晶硅电极之间设置有第二空气层，且第一多晶硅电极上覆有第二钝化层，叉指负电极与第一多晶硅电极构成垂直电容。本实用新型提供的双电容式温湿度传感器，具有温漂低，响应快，面积相对较小，集成化的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号：CN209605959U
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201920586301.5
申请日：2019-04-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01K7/00
Abstract: 本实用新型公开了一种寄生电容式LC温度传感器，包括衬底、顶金属电感线圈、底金属电感线圈、光刻胶；所述底金属电感线圈设置在衬底上表面，底金属电感线圈上覆盖有一层光刻胶，顶金属电感线圈设置在光刻胶表面；光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成平板电容结构。光刻胶与顶金属电感圈、底金属电感圈构成的平板电容结构，即形成传感器的LC谐振回路，当温度发生变化时，传感器谐振回路的Q值会发生变化，因此检测回路的Q值或者阻抗最大值即可实现对于温度的检测。本实用新型的寄生电容式LC温度传感器具有结构简单，灵敏度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.023 seconds)
