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公开(公告)号：CN114273110B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202111625131.5
申请日：2021-12-29
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明公开了一种新型可控的碳化硅表面均匀厚度薄膜制备装置，其包括微机控制系统控制的物料输送区、薄膜制备及厚度监测区、气体控制区三个部分，所述薄膜制备及厚度监测区主要包括CCD相机、固定阀、载物台、物槽、温控器、厚度传感器、旋转加热器、集成控制器，所述载物台固定在固定阀之间，所述固定阀安装在旋转加热器上，所述载物台中心是物槽，所述温控器安装在物槽两端，所述厚度传感器布置在物槽底部，所述CCD相机与集成控制器通过数据线连接，所述集成控制器同时通过数据线连接厚度传感器和温控器。本发明的优点在于：整个装置构造和薄膜制备过程中设计合理、操作简单、生产成本较低，可以形成高质量、厚度均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN117833002A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202310790743.2
申请日：2023-06-30
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明公开了一种基于可打印正交偏振调控超表面的立体复合双波长激光谐振腔，涉及超表面技术领域。该复合结构谐振腔由多个不同功能的超表面与增益介质层(G)叠加构成，分别为偏振控制高反超表面(M1)、波前校正超表面(M2)、输出耦合超表面(M3)和输出光束调制超表面(M4)。各超表面与激光增益介质之间由过渡层(T)进行粘接，各结构共同构成层状或梯度折射率复合结构激光谐振腔。该谐振腔的各组分均由可定制折射率的纳米复合材料制备，通过调节纳米复合材料中电介质纳米颗粒的种类和掺杂比来定制其有效折射率。具有偏振调制功能的M1和M3与具有相位调制功能的M2和M4共同构成谐振腔的腔内光场调制框架，使谐振腔稳定输出两束不同模式、不同波长、不同波前结构的双通道激光。本发明为解决可穿戴光学设备系统设计对多功能集成微型固态激光光源的需求提供一种新的思路。
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公开(公告)号：CN114273110A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111625131.5
申请日：2021-12-29
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明公开了一种新型可控的碳化硅表面均匀厚度薄膜制备装置，其包括微机控制系统控制的物料输送区、薄膜制备及厚度监测区、气体控制区三个部分，所述薄膜制备及厚度监测区主要包括CCD相机、固定阀、载物台、物槽、温控器、厚度传感器、旋转加热器、集成控制器，所述载物台固定在固定阀之间，所述固定阀安装在旋转加热器上，所述载物台中心是物槽，所述温控器安装在物槽两端，所述厚度传感器布置在物槽底部，所述CCD相机与集成控制器通过数据线连接，所述集成控制器同时通过数据线连接厚度传感器和温控器。本发明的优点在于：整个装置构造和薄膜制备过程中设计合理、操作简单、生产成本较低，可以形成高质量、厚度均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN115636572A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202110810764.7
申请日：2021-07-20
Applicant: 南开大学
IPC: C03B19/06
Abstract: 本发明提供了一种利用软光刻的方法对物件的复杂表面进行玻璃化的复制方法，主要包括光固化单体、交联剂、非反应成分以及二氧化硅粉体的选择，低粘度浆料的配制方法以及软光刻复制的具体方法和成型样件的玻璃化后处理过程。通过将PDMS均匀浇筑在待复制件表面，静置脱模得到具有待复制件精细表面的PDMS软模板，进一步将低粘度的浆料选区涂敷在PDMS模具上用300～600nm波长的光源照射，物件精细微结构表面即被转移至固体浆料上。另外，在1050～1300℃烧结，保温0.5～5h，得到印有物件复杂表面结构的石英玻璃。本发明制备工艺简单，重复性好，适用领域广，可以使微结构表面玻璃化的制造变成使用各种各样模具的复制过程。
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