公开(公告)号：CN113584444A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110757174.2

申请日：2021-07-05

Applicant: 南昌航空大学

Inventor： 张颢曦 ,  许崇南 ,  詹非凡 ,  王杰 ,  许胤曦 ,  李海涛 ,  陈宜

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C09D183/08 ,  C09D7/62

Abstract: 本发明公开了一种超硬疏水自清洁薄膜的制备方法。方法包括：一、基体前处理；二、镀膜前准备；三、制备Cr/CrN周期膜；四、等离子刻蚀；五、Al2O3颗粒表面改性；六、有机溶液修饰制备疏水膜，得到致密均匀‑超硬‑疏水‑耐蚀的复合薄膜。本方法将物理的沉积方法和化学浸饰的方法结合，相互取长补短，充分发挥各自的优势，磁控溅射持续稳定，制备的薄膜致密均匀，周期膜可大幅度提高复合膜层的硬度，释放应力，增加韧性。有机溶液修饰可降低表面能，提高表面的疏水性能，而且Al2O3颗粒表面改性后掺杂有机溶液中修饰可二次提高薄膜的硬度，效果显著。本发明用于制备超硬疏水自清洁的复合薄膜。

公开(公告)号：CN113584444B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202110757174.2

申请日：2021-07-05

Applicant: 南昌航空大学

Inventor： 张颢曦 ,  许崇南 ,  詹非凡 ,  王杰 ,  许胤曦 ,  李海涛 ,  陈宜

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C09D183/08 ,  C09D7/62

Abstract: 本发明公开了一种超硬疏水自清洁薄膜的制备方法。方法包括：一、基体前处理；二、镀膜前准备；三、制备Cr/CrN周期膜；四、等离子刻蚀；五、Al2O3颗粒表面改性；六、有机溶液修饰制备疏水膜，得到致密均匀‑超硬‑疏水‑耐蚀的复合薄膜。本方法将物理的沉积方法和化学浸饰的方法结合，相互取长补短，充分发挥各自的优势，磁控溅射持续稳定，制备的薄膜致密均匀，周期膜可大幅度提高复合膜层的硬度，释放应力，增加韧性。有机溶液修饰可降低表面能，提高表面的疏水性能，而且Al2O3颗粒表面改性后掺杂有机溶液中修饰可二次提高薄膜的硬度，效果显著。本发明用于制备超硬疏水自清洁的复合薄膜。