微光学器件移动数字掩模制作方法

    公开(公告)号:CN101587292A

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200910115611.X

    申请日:2009-06-29

    Abstract: 一种微光学器件移动数字掩模制作方法,其特征是制作方法为:(1)通过移动数字掩模制作方法的掩模函数设计移动数字掩模图形;(2)根据曝光能量积累函数设定掩模图形的运动速度及时间;(3)对移动的移动数字掩模图形进行累积曝光,从而得到具有原相位分布的微光学器件。本发明的优点是:1.移动数字掩模技术实现了传统机械移动掩模技术的功能;2.克服了传统机械移动掩模外围尺寸有限导致的边框效应;3.移动数字掩模可方便地实现曝光量的控制;4.根据实际需要实时修改掩模形状和掩模的移动速度及曝光时间,操作灵活方便;5.可一次性制作均匀性很好的连续浮雕面形微光学器件及其阵列。

    基于数字无掩模光刻技术的微透镜及其制作方法

    公开(公告)号:CN101833124A

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:CN201010134624.4

    申请日:2010-03-29

    Abstract: 一种基于数字无掩模光刻技术的微透镜,其特征是将透镜底面半径等分为若干个小微元,这些小微元的宽度和数字光刻系统中使用的数字微镜(DMD)的像素宽度成一定关系,即一个小微元宽度等于经过精缩投影物镜缩小的DMD上的一个像素宽度,或者由整数个像素的横向宽度组合而成;由于微透镜底而圆是中心对称结构,所以将每个小微元绕中心旋转一周就得到一个环带,底面圆看成是有许多个环带组成。本发明的优点是:1、避免了传统方法给制作器件带来的误差失真;2、更加接近理论设计值;3、由计算机控制图片实时变换能减小曝光时间的误差,使曝光过程自动化、简单化、高效率。

    二元光学组件横向制作方法

    公开(公告)号:CN101650446A

    公开(公告)日:2010-02-17

    申请号:CN200910115895.2

    申请日:2009-09-08

    Abstract: 一种二元光学组件横向制作方法,其特征是计算机在三维建模软件中设计好光学器件的三维模型,然后编程对其进行横向切片处理,并将首层传送至DMD,然后曝光光源经过准直整形镜组形成均匀平行的光线,该光线经过反射镜到DMD表面,电控位移平台联动原固化层移动一个图层厚度,曝光第二层图像,依次曝光各层图像,最终生成二元光学组件。本发明的优点是:1.不存在原纵向制作单个器件阵列,应用组件结构(子系统)时,需把单个器件阵列组装而引入的对准误差;2.排除了每固化层的变形对组件中各元件表面面型精度的影响,而这种影响在纵向切片法中是很难避免的。

    二元光学组件横向制作装置

    公开(公告)号:CN201421542Y

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200920185510.5

    申请日:2009-06-19

    Abstract: 一种二元光学组件横向制作装置,它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源,其特征是固化光源照射数字微镜器,计算机连接数字微镜器,数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影透镜,树脂槽内连有精密电控平台,树脂槽安放在防震平台上。本实用新型的技术效果是:1.不存在用多个二元光学元件组装系统时的对准误差;2.采用DMD像素化图像具有微米级的精度;3.相对于激光或电子束直写法具有更经济,速度更快的优点;4.无须作多次套刻,不存在套刻的对准误差;5.不存在纵向分层时,由于树脂层表面的不平对二元光学元件工作面刻蚀带来的误差。

    一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置

    公开(公告)号:CN205679196U

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201620309014.6

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置,属于光学测量技术领域。所述系统由低相干光光源、高相干光光源、第一平面镜、第二平面镜、第三平面镜、分光片、补偿板、接收器、额外补偿板组成。采用一套干涉装置,同时通以三路光路,低相干光光路作为绝对测量时的定标作用,第一高相干光光路起着精密测量位移的功能,第二高相干光光路测量环境因素导致的光程改变量以消除测量误差。该实用新型结构简单,使用方便,能有效消除机械传动装置的双向传动误差或压电陶瓷促动器的非线性及温度,气流,震动等环境因素对测量的影响,并降低仪器制造和测量成本实现精密测量。

    光纤端面微光学器件数字光刻的装置

    公开(公告)号:CN201654453U

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN201020139081.0

    申请日:2010-03-23

    Abstract: 一种光纤端面微光学器件数字光刻的装置,其特征是数字微镜器和面阵CCD通过导线连接计算机,LED光源的输出光线通过紫外线截止滤光片照射数字微镜器件,紫外光源的输出光线通过扩束准直均匀器照射数字微镜器件,数字微镜器件、半反半透分光棱镜、精缩投影物镜和光纤依次排序形成一条直线,光纤在调节台上。本实用新型的技术效果是:(1)使微光学器件更好的应用在光纤领域;(2)光纤端面微光学器件的掩模由计算机控制输出,具有设计灵活、实时控制的优点;(3)对于表面浮雕结构复杂的光纤微光学器件,由计算机控制实时更换掩模,通过多张掩模的叠加曝光来实现,降低制作难度。

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