公开(公告)号：CN102072913B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201010529590.9

申请日：2010-08-09

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 休伯特·曼茨 ,  雷纳·阿诺德 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/22

CPC classification number: G01N23/2252 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2448

Abstract: 本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。根据本发明，可通过样品发出的电子和X射线二者获得与样品相关的信息。