公开(公告)号：CN102072913B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201010529590.9

申请日：2010-08-09

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 休伯特·曼茨 ,  雷纳·阿诺德 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/22

CPC classification number: G01N23/2252 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2442 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2448

Abstract: 本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。根据本发明，可通过样品发出的电子和X射线二者获得与样品相关的信息。

公开(公告)号：CN101996839B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201010510825.X

申请日：2010-07-26

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 德克·普雷克扎斯 ,  迈克尔·阿尔比兹

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/15 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。