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公开(公告)号：CN102439684A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080022141.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司
Inventor： B.W.沃德
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2811 , H01J2237/2823 , H01J2237/30416
Abstract: 总体而言，在一个方面，本公开涉及用于样品成像的方法和系统，例如使用带电粒子的样品成像。
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