公开(公告)号：CN102779713A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201210243040.X

申请日：2012-03-31

Applicant: 卡尔蔡司NTS有限责任公司

Inventor： D·多尼茨 ,  C·瓦格纳

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G01N23/203 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种带检测器装置的粒子束仪(1，24)。该粒子束仪具有第一和第二粒子束柱(16、2)，第一和第二粒子束柱分别具有产生第一或第二粒子束的第一或第二束产生器以及将第一或第二粒子束聚焦在目标(11)上的第一或第二物镜。第一粒子束柱具有第一粒子束轴线(28)。第二粒子束柱具有第二粒子束轴线(29)。设置检测相互作用粒子和/或相互作用束的检测器(12)，检测轴线(33)从检测器延伸到目标。第一粒子束柱的第一粒子束轴线和第二 粒子束柱的第二粒子束轴线形成不同于0°和180°的第一角度第一粒子束柱的第一粒子束轴线和该第二粒子束柱的第二粒子束轴线布置在第一平面(32)内。检测器的检测轴线和第一粒子束轴线布置在第二平面(34)内。第一平面和第二平面形成第二角度(α)，其数值处于65°至80°的范围内。