公开(公告)号：CN107209463A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680008454.0

申请日：2016-01-19

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： U.舍恩霍夫 ,  E.贝克塔斯 ,  M.豪夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及用于操纵尤其在光学系统中的元件的位置的装置。按照本发明的装置针对位置操纵的每个自由度具有至少一个执行器(22、52、72、102a、102b、122a、122b、142a、142b、162a、162b)以将可调节的力施加在元件(21、51、71、101、121、141、161)上、针对位置操纵的每个自由度具有至少一个位置传感器(23、53、73、103、163a、163b)以分别产生表征元件位置的传感器信号，并且具有至少一个位置调节器(27、57、77、107)，所述位置调节器在位置调节回路中根据至少一个传感器信号调节由至少一个用于定位元件的执行器施加在元件上的力，其中，至少一个执行器和至少一个位置传感器安装在共同的模块框架(24、54、74、104、124、144、164)上，并且其中，所述模块框架这样机械式地连接在参考框架(25、55、75、105、125、145)上，使得对于所述连接的共振频率(ωMR)满足条件0.5·ωB≤ωMR≤2ωB，其中，ωB表示位置调节回路的带宽。

公开(公告)号：CN107209463B

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201680008454.0

申请日：2016-01-19

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： U.舍恩霍夫 ,  E.贝克塔斯 ,  M.豪夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及用于操纵尤其在光学系统中的元件的位置的装置。按照本发明的装置针对位置操纵的每个自由度具有至少一个执行器(22、52、72、102a、102b、122a、122b、142a、142b、162a、162b)以将可调节的力施加在元件(21、51、71、101、121、141、161)上、针对位置操纵的每个自由度具有至少一个位置传感器(23、53、73、103、163a、163b)以分别产生表征元件位置的传感器信号，并且具有至少一个位置调节器(27、57、77、107)，所述位置调节器在位置调节回路中根据至少一个传感器信号调节由至少一个用于定位元件的执行器施加在元件上的力，其中，至少一个执行器和至少一个位置传感器安装在共同的模块框架(24、54、74、104、124、144、164)上，并且其中，所述模块框架这样机械式地连接在参考框架(25、55、75、105、125、145)上，使得对于所述连接的共振频率(ωMR)满足条件0.5·ωB≤ωMR≤2ωB，其中，ωB表示位置调节回路的带宽。