公开(公告)号：CN110542451A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201811126286.2

申请日：2018-09-26

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄俊荣 ,  徐永璘 ,  徐光宏 ,  陈韦志 ,  王仁地 ,  刘志鋐

IPC: G01D21/00 ,  G01D18/00

Abstract: 本公开一实施例提供一种错误检测方法及制造设施，该错误检测方法适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。

公开(公告)号：CN109712867B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201810084030.3

申请日：2018-01-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王仁地 ,  林志威 ,  黎辅宪 ,  陈奕明 ,  洪正和

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 一种方法，包括接收在内部具有多个晶圆的载体；向载体的入口供应净化气体；从载体的出口抽出排出气体；以及在执行净化气体的供应和排出气体的抽出的同时生成载体的健康指示器。本发明的实施例还涉及衬底载体劣化检测及修复。

公开(公告)号：CN109712867A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201810084030.3

申请日：2018-01-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 王仁地 ,  林志威 ,  黎辅宪 ,  陈奕明 ,  洪正和

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67

Abstract: 一种方法，包括接收在内部具有多个晶圆的载体；向载体的入口供应净化气体；从载体的出口抽出排出气体；以及在执行净化气体的供应和排出气体的抽出的同时生成载体的健康指示器。本发明的实施例还涉及衬底载体劣化检测及修复。

公开(公告)号：CN108405381B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201710073210.7

申请日：2017-02-10

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 朱啟源 ,  黎辅宪 ,  王仁地 ,  刘志鋐 ,  庄国峯

IPC: B08B1/00 ,  B08B5/04 ,  B08B6/00 ,  B08B13/00

Abstract: 一种清洁装置与方法。清洁装置包含一主体、至少一导引滚轮、至少一承载滚轮与至少一清洁件。导引滚轮是连接主体，且导引滚轮具有一第一转轴方向。承载滚轮是连接主体，承载滚轮具有第二转轴方向，且第一转轴方向与第二转轴方向相交。清洁件是设置于主体上。

公开(公告)号：CN108116432A

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201710791752.8

申请日：2017-09-05

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 简士浤 ,  王仁地 ,  黎辅宪 ,  刘志鋐 ,  徐永璘

IPC: B61D15/10 ,  B61K9/08

Abstract: 一种用于轨道系统的监控车，包含轮式推车、架空车身、至少一支撑结构与至少一第一感应器。轮式推车可操作以于轨道系统的至少一轨道上移动。支撑结构连接轮式推车与架空车身。第一感应器设置于轮式推车，并配置以侦测轨道系统的轨道的至少一第一参数。

公开(公告)号：CN110542451B

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN201811126286.2

申请日：2018-09-26

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄俊荣 ,  徐永璘 ,  徐光宏 ,  陈韦志 ,  王仁地 ,  刘志鋐

IPC: G01D21/00 ,  G01D18/00

Abstract: 本公开一实施例提供一种错误检测方法及制造设施，该错误检测方法适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。

公开(公告)号：CN113257726A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202010839070.1

申请日：2020-08-19

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 朱啟源 ,  王仁地 ,  陈韦志 ,  庄国峯 ,  洪正和

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 一种操作传输系统的方法包括：侦测晶圆输送载具的异常状况；将晶圆输送载具沿着轨道送至与轨道相邻的诊断站；以及通过使用诊断站来检查晶圆输送载具的性质，如晶圆输送载具的速度、重量、声频、噪音位准、温度、及影像。

公开(公告)号：CN111244001A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201911183588.8

申请日：2019-11-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈韦志 ,  陈锡祺 ,  王庭伟 ,  王仁地 ,  庄国峯

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种传输晶圆的方法包含：晶圆运输装置在运输轨上移动，并且在具有顶表面的装载端口之上停止。将光束投影到装载端口的顶表面上，并且撷取顶表面及光束的影像。晶圆运输装置的升降单元的位置根据影像相对于装载端口的位置对准。升降单元朝向装载端口降低。

公开(公告)号：CN108405381A

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：CN201710073210.7

申请日：2017-02-10

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 朱啟源 ,  黎辅宪 ,  王仁地 ,  刘志鋐 ,  庄国峰

IPC: B08B1/00 ,  B08B5/04 ,  B08B6/00 ,  B08B13/00

Abstract: 一种清洁装置与方法。清洁装置包含一主体、至少一导引滚轮、至少一承载滚轮与至少一清洁件。导引滚轮是连接主体，且导引滚轮具有一第一转轴方向。承载滚轮是连接主体，承载滚轮具有第二转轴方向，且第一转轴方向与第二转轴方向相交。清洁件是设置于主体上。

公开(公告)号：CN110875228B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201910812040.9

申请日：2019-08-30

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 邱子琪 ,  王仁地 ,  王庭伟 ,  庄国峯

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 一种工件储存系统、储存工件的方法、及使用其传输工件的方法。储存在加工半导体元件时使用的工件的方法包括将工件设置在工件载具上、经由工件储存系统将具有工件的工件载具设置在工件容器中、识别工件容器的内容物、以及经由工件储存系统来根据工件容器的内容物调节工件容器内部的储存条件。