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公开(公告)号:CN119603981A
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202411874427.4
申请日:2024-12-19
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种SnO/β‑Ga2O3功率二极管及其制备方法,是在β‑Ga2O3外延层上沉积p型SnO层,构建SnO/β‑Ga2O3垂直结构异质结二极管或异质结势垒二极管。本发明利用II型异质结的耗尽区,降低功率二极管的反向漏电流,提高器件的可靠性和击穿电压,同时该异质结具有较低的内建电势,有望降低导通功耗,可用于高压大功率电力电子系统。