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公开(公告)号：CN118654787B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411141930.9
申请日：2024-08-20
Applicant: 合肥工业大学 , 浙江欧仁新材料有限公司
IPC: G01L1/14 , C09D175/04 , C09D7/62 , C09D7/63 , C09D7/65 , C08L29/04 , C08L1/28 , C08K5/43 , C09D179/02 , C09D153/02 , C09D105/08 , C09D5/24 , C09D129/04 , B05D1/00 , B05D7/24
Abstract: 本发明公开了基于离子泵效应的差动电容式压力传感器及其制备方法，压力传感器包括封装框架，封装框架的空腔中设置有差动式压力敏感单元，封装框架顶部设有压力感应单元；差动式压力敏感单元包括由上往下依次层叠设置的上电极、上介电层、中电极、下介电层和下电极，各介电层由靠近中电极的离子传输层和远离中电极的离子吸附层构成，离子传输层面向中电极的一侧设有表面凸出微结构，表面凸出微结构包括多个同心的环形凸起；压力感应单元包括压板以及至少两个触头，各个触头分别插入至封装框架的各个插孔中并与中电极表面相接触。本发明的差动电容式压力传感器具有宽线性、高灵敏和弱温度敏感性的特点。
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公开(公告)号：CN119022775A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411121272.7
申请日：2024-08-15
Applicant: 合肥工业大学 , 浙江欧仁新材料有限公司
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明公开了基于多尺度应力分散机制的抗疲劳柔性应变传感器，其结构为：包括由内向外依次套装设置的低导电内芯、高导电层和封装层；低导电内芯包括呈圆柱形结构的柔性基体；柔性基体的表面沿周向均布有凹槽，凹槽沿柔性基体的轴向贯通、且横截面呈矩形；柔性基体的每个凹槽中皆填充有低导电材料；高导电层呈圆筒形，覆盖在低导电内芯表面；高导电层表面沿轴向均布有若干环形凸起结构；封装层包覆在高导电层表面，使柔性应变传感器整体呈圆柱形长条结构。本发明制备的柔性应变传感器具有抗疲劳、宽传感范围、高灵敏度和稳定性等特性，可用于人体可穿戴领域和机器人皮肤领域，具有良好的实用性。
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公开(公告)号：CN118272184A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410401383.7
申请日：2024-04-03
Applicant: 合肥工业大学
IPC: C12M1/00
Abstract: 本发明公开了一种用于肿瘤细胞聚焦分选的惯性微流控芯片，包括上层基片和下层基片，上层基片靠近下层基片的一侧中部开设有惯性流道，上层基片上端靠近惯性流道入口的一侧开设有进液孔，惯性流道靠近出口处呈Y型分选结构，Y型分选结构的出口包括靠近惯性流道内部一侧的内侧出口和靠近惯性流道外部一侧的外侧出口，上层基片靠近Y型分选结构内侧出口的一侧上端开设有内侧出液孔，上层基片靠近Y型分选结构外侧出口的一侧上端开设有外侧出液孔。本发明使用类圆环形与梯形突扩流道的组合式微流道，并在相邻梯形突扩流道之间的顶部设置与流道等宽的凸台，可以多向诱导并增强二次流的强度，提高聚焦效率和分选的精度。
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公开(公告)号：CN117849392A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410017877.5
申请日：2024-01-05
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法，包括隔离框层、敏感层、埋氧层、空腔层和玻璃衬底，隔离框层设置在敏感层的一侧，埋氧层设置在敏感层的另一侧，空腔层设置在埋氧层远离敏感层的一侧。本发明采用双排梳齿的结构增加了梳齿电极的数量，相对于其他单排梳齿传感器结构有效地提高了电容式加速度传感器的灵敏度。固定梳齿电极与可动梳齿电极构成不等高梳齿结构，八组不等高梳齿构成检测Z轴加速度的差分检测结构，从而抵消非敏感轴方向对Z敏感轴的干扰。本发明采用单边凹槽单边阻尼孔的结构，减小阻尼的同时还偏移了敏感质量块质心的位置，增大了梳齿偏转的角度，以提高传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN112113670B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010996100.X
申请日：2020-09-21
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明属于微机电系统MEMS技术领域，具体涉及一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法。红外探测器由下至上依次包括衬底层、牺牲层、支撑层、圆形吸收区和热电堆；热电堆包括若干根热电偶，若干根热电偶依次电气串联，且中心对称均匀分布在圆形吸收区的四周，形成辐射状的热电堆，每根热电偶从下至上依次包括第二热电偶层、隔离层和第一热电偶层，热电堆通过水平的支撑层布设在牺牲层的上端，且圆形吸收区对应位于隔热空腔的上方，每根热电偶的一端和圆形吸收区连接，另一端位于隔热空腔上端口外侧对应的支撑层上。本发明通过热电偶的堆叠结构与热电堆的辐射分布，提高了传感器表面的利用率，同时也增强了冷端的热传导，因此提高了传感器的整体性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112549055A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011412224.5
申请日：2020-12-04
Applicant: 合肥工业大学
IPC: B25J15/00
Abstract: 本发明公开了一种仿人气动式软体机器手指，其包括依次连接的前段柔性单元、气动执行器单元、中段柔性指骨单元、气动执行器单元和后段柔性指骨单元，其中，气动执行器单元整体呈梳齿状结构，包括基座以及沿手指长度方向并排设置在基座上的多个梳齿；在基座内部设有主空腔，每个梳齿内部设有与主空腔连通的分空腔；中段柔性指骨单元与后段柔性指骨单元的内部皆设有沿手指长度方向贯通的气道，且气道通过设置于气动执行器单元侧面的开孔与气动执行器单元的主空腔相连通。本发明的气动式软体机器手指具有制作过程简单、成本低廉、弯曲幅度较大、输出可控等优点，为机器人实现仿人手式抓取提供了可行性方案。
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公开(公告)号：CN112113670A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010996100.X
申请日：2020-09-21
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明属于微机电系统MEMS技术领域，具体涉及一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法。红外探测器由下至上依次包括衬底层、牺牲层、支撑层、圆形吸收区和热电堆；热电堆包括若干根热电偶，若干根热电偶依次电气串联，且中心对称均匀分布在圆形吸收区的四周，形成辐射状的热电堆，每根热电偶从下至上依次包括第二热电偶层、隔离层和第一热电偶层，热电堆通过水平的支撑层布设在牺牲层的上端，且圆形吸收区对应位于隔热空腔的上方，每根热电偶的一端和圆形吸收区连接，另一端位于隔热空腔上端口外侧对应的支撑层上。本发明通过热电偶的堆叠结构与热电堆的辐射分布，提高了传感器表面的利用率，同时也增强了冷端的热传导，因此提高了传感器的整体性能。
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公开(公告)号：CN108562383B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201810112456.5
申请日：2018-02-05
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明涉及静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统，包括敏感结构、前级处理电路、锁相环和幅值调整器，敏感结构由激励元件、谐振器和拾振电阻组成，前级处理电路由仪表放大器、带通滤波器、移相器、波形变换器和分频器组成，拾振电阻输出的微弱信号经过仪表放大器放大，经过带通滤波器滤除杂波并修整波形，通过移相器对系统的相位进行调整，波形变换器作为模拟电路和数字电路的接口电路将正弦波改变成方波，再经过分频器将信号二分频作为锁相环的输入信号，锁相环的输出信号经过幅值调整器后作为激励元件的激励信号激励谐振器，实现传感器的闭环锁相。本发明提高了谐振频率测量精度和速度、扩大量程，并且改善了系统的动态特性。
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公开(公告)号：CN107290693B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201710408515.9
申请日：2017-06-02
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖，其中传感器本体分为主体、一对测量电极体和一对驱动电极体三部分，一对测量电极体位于主体X方向的两侧，一对驱动电极体在主体Y方向两侧，且分别与主体对称呈齿状交错配合结构，最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的梳齿状微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的竖直z方向的磁场大小的测量，通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用，带动主体有往受力方向运动的趋势，再是驱动电极体上的梳齿上产生的静电力的复合作用下，使主体以某一频率机械振动，引起电容变化，进而推算出所测量的磁场大小。
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公开(公告)号：CN102593198A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210053644.8
申请日：2012-03-02
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0256 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种II-VI族层叠集成纳米光伏器件及其制备方法，其中光伏器件的底层为重掺杂硅片(4)，所述重掺杂硅片(4)的上层为PMMA绝缘层(2)，所述PMMA绝缘层内阵列排布有至少一根的II-VI族纳米材料(3)，所述II-VI族纳米材料(3)在垂直PMMA绝缘层(2)平面的方向上穿透PMMA绝缘层(2)，所述电极(1)与至少一根所述II-VI族纳米材料(3)呈欧姆接触。本发明光伏器件制备工艺简单易行，且成本较低，器件性能优越稳定，可用于多种纳米结构硅基异质结光伏器件的制备且可用于大规模集成光伏器件的制备。
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