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公开(公告)号：CN2580440Y
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN02281255.5
申请日：2002-11-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/407
Abstract: 本实用新型属于气体敏感元器件领域，涉及一种薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器。由Al2O3空心管式衬底(1)、NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3－Li2CO3辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，环形加热丝内置于Al2O3空心管中。本实用新型把Al2O3管式衬底引入到固体电解质传感器的制作中，利用NASICON的原溶胶溶液采用反复提拉法在管式衬底上制备出一层NASICON薄膜，再依次制备出网状金电极、信号铂(Pt)电极、二元碳酸盐BaCO3－Li2CO3辅助电极。该传感器具有制作简单、加热效果好、功耗低、体积小等优点。
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