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公开(公告)号：CN1088559A
公开(公告)日：1994-06-29
申请号：CN93117484.8
申请日：1993-09-18
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: H01M8/1253 , Y02E60/525 , Y02P70/56
Abstract: 聚乙二醇凝胶法合成Y2O3稳定的立方系ZrO2纳米晶陶瓷粉，以分子量M＝1540～20000的聚乙二醇作为胶体颗粒的保护剂，通过加热脱水形成凝胶。经过500～1000℃，0.5～2h，空气气氛下灼烧，可得到用Y2O3稳定的立方系ZrO2纳米晶陶瓷粉。其平均晶粒尺寸随灼烧条件不同，可达4nm至30nm之间。本发明所制备的纳米晶陶瓷粉，主要用于在功能材料领域中热敏、固体电解质燃料电池、氧传感器及结构陶瓷器件制造过程中所用的陶瓷粉。
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公开(公告)号：CN1828950A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200610016742.9
申请日：2006-04-04
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明具体涉及一种以纳米晶体TiO2薄膜材料为基体的金属－半导体－金属结构(MSM)的光伏型紫外光探测器及该紫外光探测器的制备方法。从下到上依次包括绝缘衬底、用溶胶凝胶法在绝缘衬底上生长的纳米晶体TiO2薄膜、在纳米晶体TiO2薄膜上用蒸发或溅射的方法制备的插指金属电极。该探测器的制备方法是：首先采用溶胶－凝胶技术在绝缘衬底上生长一层均匀致密的纳米晶体TiO2薄膜，然后在纳米晶体TiO2薄膜的表面溅射－层金属，最后利用标准光刻技术形成插指电极。本发明制备的MSM结构的光伏型紫外光探测器，具备制备方法简单、便于掌握的优点，对波长从230nm到280nm的紫外波段，探测器有很明显的光响应。
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公开(公告)号：CN1405593A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02144511.7
申请日：2002-10-30
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片上制作；倾斜下电极平面相对于上电极平面向下倾斜一定的角度x，下电极在(111)硅片上制作，硅片的法线方向为由 方向向最近的 方向偏转一定角度x。具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关在与平面下电极结构的光开关具有相同结构尺寸的情况下，可以使静电驱动电压有明显的下降。本发明所述具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关采用光刻、反应离子刻蚀、湿法化学法腐蚀等常规技术制备。
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公开(公告)号：CN100424908C
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200510017007.5
申请日：2005-07-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明具体涉及一种以导电态聚苯胺为P型半导体材料、纳米晶体TiO2为N型半导体材料的P-N异质结二极管及该异质结二极管的制备方法。该P-N异质结二极管的组装制备方法是：首先采用溶胶-凝胶技术在ITO玻璃衬底上生长一层均匀致密的纳米晶体TiO2薄膜，然后用另一片ITO玻璃以双面胶作为粘合材料和隔垫物覆盖在纳米晶体TiO2薄膜的表面，最后利用毛细作用在纳米晶体TiO2薄膜与ITO玻璃之间注入导电态聚苯胺的溶液，常温下将溶剂挥发掉。本发明采用有机高分子导电材料作为P型半导体材料与N型的纳米晶体TiO2组装制备了具有良好整流特性(2V时，整流比大于160)的异质结二极管，并且其制备方法简单便于掌握。
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公开(公告)号：CN1180286C
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02144511.7
申请日：2002-10-30
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片上制作；倾斜下电极平面相对于上电极平面向下倾斜一定的角度x°，下电极在(111)硅片上制作，硅片的法线方向为由 方向向最近的 方向偏转一定角度x°具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关在与平面下电极结构的光开关具有相同结构尺寸的情况下，可以使静电驱动电压有明显的下降。本发明所述具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关采用光刻、反应离子刻蚀、湿法化学法腐蚀等常规技术制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1402034A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02133096.4
申请日：2002-09-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种利用(110)硅片制作的静电驱动微反射镜型扭臂结构的微光电子机械系统(MOEMS)光开关、光开关阵列及制作方法。微机械光开关由在硅片(1)上制作的上电极(2)、微反射镜(3)、扭臂(4)和自对准光纤槽(5)以及玻璃片(6)、氮化硅或二氧化硅绝缘层(7)，作为下电极的铝膜(8)组成。微反射镜(3)的镜面沿硅片的{111}面，与硅片表面相垂直。微反射镜(3)的厚度为3～5微米，长度和高度分别为100～200微米，上电极(2)的厚度为10～20微米，扭臂宽度为10～15微米，长度为500～700微米。本发明所述及的微机械光开关具有镜面平整垂直、各单元的反射镜面平行、扭臂的结构尺寸能够准确控制，制作工艺简单，成品率高，制作成本低等特点。
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公开(公告)号：CN100517769C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200610016742.9
申请日：2006-04-04
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明具体涉及一种以纳米晶体TiO2薄膜材料为基体的金属—半导体—金属结构(MSM)的光伏型紫外光探测器的制备方法。该紫外光探测器从下到上依次包括绝缘衬底、用溶胶凝胶法在绝缘衬底上生长的纳米晶体TiO2薄膜、在纳米晶体TiO2薄膜上用蒸发或溅射的方法制备的插指金属电极。该探测器的制备方法是：首先采用溶胶—凝胶技术在绝缘衬底上生长一层均匀致密的纳米晶体TiO2薄膜，然后在纳米晶体TiO2薄膜的表面溅射—层金属，最后利用标准光刻技术形成插指电极。本发明制备的MSM结构的光伏型紫外光探测器，具备制备方法简单、便于掌握的优点，对波长从230nm到280nm的紫外波段，探测器有很明显的光响应。
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公开(公告)号：CN101038312A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710055489.2
申请日：2007-04-05
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电磁波强度测量传感器微热板表面温度的方法。首先是制作Si基样品片和微热板，然后在绝热隔光环境中，测量Si基样品片表面一定立体角下一定波长的电磁波强度和Si基样品片的表面温度，以此获得Si基样品片电磁波强度与表面温度关系的标定曲线；再将切割Si基样品片获得的微热板置于绝热隔光环境中，测量微热板表面相同的立体角下相同波长的电磁波强度，对照电磁波强度与温度关系的标定曲线，即可获得微热板表面被测区域的温度。通过选择不同直径的电磁波强度测定仪探头可以对不同面积大小的微区进行测量，并且能够对微热板表面进行逐点测量，得到微热板表面的温度分布情况，从而实现以非接触的方式测量微热板表面温度。
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公开(公告)号：CN1731596A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510017007.5
申请日：2005-07-28
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明具体涉及一种以导电态聚苯胺为P型半导体材料、纳米晶体TiO2为N型半导体材料的P－N异质结二极管及该异质结二极管的制备方法。该P－N异质结二极管的组装制备方法是：首先采用溶胶－凝胶技术在ITO玻璃衬底上生长一层均匀致密的纳米晶体TiO2薄膜，然后用另一片ITO玻璃以双面胶作为粘合材料和隔垫物覆盖在纳米晶体TiO2薄膜的表面，最后利用毛细作用在纳米晶体TiO2薄膜与ITO玻璃之间注入导电态聚苯胺的溶液，常温下将溶剂挥发掉。本发明采用有机高分子导电材料作为P型半导体材料与N型的纳米晶体TiO2组装制备了具有良好整流特性(2V时，整流比大于160)的异质结二极管，并且其制备方法简单便于掌握。
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公开(公告)号：CN1226647C
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN02133096.4
申请日：2002-09-29
Applicant: 吉林大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明涉及一种利用(110)硅片制作静电驱动微反射镜型扭臂结构的微光电子机械系统(MOEMS)光开关、光开关阵列的方法。微机械光开关由在硅片(1)上制作的上电极(2)、微反射镜(3)、扭臂(4)和自对准光纤槽(5)以及玻璃片(6)、氮化硅或二氧化硅绝缘层(7)，作为下电极的铝膜(8)组成。微反射镜(3)的镜面为{111}面，与硅片表面完全垂直。微反射镜(3)的厚度为3～5微米，长度和高度均为100～200微米，上电极(2)的厚度为10～20微米，扭臂宽度为10～15微米，长度为500～700微米。采用本发明所述方法制备的微机械光开关及光开关阵列具有镜面平整垂直、各单元的反射镜面平行、扭臂的结构尺寸能够准确控制，制作工艺简单，成品率高，制作成本低等特点。
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