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公开(公告)号:CN119433476A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202411567767.2
申请日:2024-11-05
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明的用于金刚石红外窗口的高取向疏水氧化物增透膜制备方法属于光学薄膜制备技术领域,包括金刚石表面精密抛光、金刚石表面酸煮、磁控溅射等步骤。本发明采用高取向氧化物复合靶材制备高取向增透膜,采用低温与高温交替进行的镀膜方式,所制备的增透膜具有轻微疏水的特性及高取向特性;合成过程工艺连续性好,合成工艺简单。