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公开(公告)号：CN119915243A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510090910.1
申请日：2025-01-21
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明适用于测量技术领域，提供了基于CGH的光学制造装调辅助零位标定测量系统及方法，包括干涉测量模块、改进PSF测量模块、半透半反镜和CGH，所述CGH用于对干涉测量模块和改进PSF测量模块进行相位调制，所述CGH包括改进PSF测量相位部分、倾角测量相位部分和定位全息相位部分。本发明利用计算机生成全息图(CGH)的可分区特性，实现了系统光机元件相对位置的精确标定，有效降低了由加工或测量系统装配过程中产生的固有误差。本发明展现出结构模块化、实时响应及高精度测量等优势，特别适用于对光学元件的姿态进行高精度测量，从而显著提升了高端装备加工平台以及光学制造装调过程中的精度与稳定性。
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