公开(公告)号：CN107219123B

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201710420121.5

申请日：2017-06-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  戚晓芸 ,  籍晓亮 ,  刘艳南 ,  田艳红 ,  王春青

IPC: G01N3/08

Abstract: 一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置，属于键合强度测量领域。拉伸夹持棒一端与晶片存储槽外侧底面中部固接，晶片存储槽的槽侧壁的顶端设有一个直角横梁，直角横梁水平梁与晶片存储槽的槽侧壁的顶端连接为一体，直角横梁的竖直梁设置在晶片存储槽的槽口内。本发明通过对长方形晶片进行交叉十字键合，利用施加力的大小、施加力的位置、晶片的厚度、晶片的宽度以及晶片的抗拉强度之间存在确定的理论关系，寻找特定的施力位置和施力大小，根据施力大小和断裂位置计算键合强度的大小，若施加的拉力F≥σb·b2，且断裂位置为晶片或键合区域的边缘，则键合强度σ≥σb；若施加的拉力F＜σb·b2，且断裂位置为键合界面处，则键合强度σ＝F/b2。本发明用于测量晶片键合强度。

公开(公告)号：CN105977172B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201610337329.6

申请日：2016-05-21

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  田艳红 ,  刘艳南 ,  曾小润 ,  王春青

IPC: H01L21/60

Abstract: 一种辅助手动晶圆键合装置，包括长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座，长直角弯头接头较短一端与晶圆槽A中心通孔过盈配合，晶圆槽A通过定角度合页与直线轴承C固定连接，晶圆槽B通过三根直线光轴与底座固定连接，三根弹簧分别与三根直线光轴间隙配合且位于靠近底座一端；三根直线轴承分别与三根直线光轴过盈配合且分别与三根弹簧上端固定连接，缓冲块A、缓冲块B分别与直线轴承A、直线轴承B固定连接。本发明避免了双手与晶圆片的直接接触，改善了手动晶圆键合质量。

公开(公告)号：CN107219123A

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201710420121.5

申请日：2017-06-06

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  戚晓芸 ,  籍晓亮 ,  刘艳南 ,  田艳红 ,  王春青

IPC: G01N3/08

CPC classification number: G01N3/08 ,  G01N2203/0017 ,  G01N2203/0067

Abstract: 一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置，属于键合强度测量领域。拉伸夹持棒一端与晶片存储槽外侧底面中部固接，晶片存储槽的槽侧壁的顶端设有一个直角横梁，直角横梁水平梁与晶片存储槽的槽侧壁的顶端连接为一体，直角横梁的竖直梁设置在晶片存储槽的槽口内。本发明通过对长方形晶片进行交叉十字键合，利用施加力的大小、施加力的位置、晶片的厚度、晶片的宽度以及晶片的抗拉强度之间存在确定的理论关系，寻找特定的施力位置和施力大小，根据施力大小和断裂位置计算键合强度的大小，若施加的拉力F≥σb·b2，且断裂位置为晶片或键合区域的边缘，则键合强度σ≥σb；若施加的拉力F＜σb·b2，且断裂位置为键合界面处，则键合强度σ＝F/b2。本发明用于测量晶片键合强度。

公开(公告)号：CN107068598A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710309002.2

申请日：2017-05-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  刘艳南 ,  田艳红 ,  冯智健 ,  周诗承 ,  李思 ,  马竟轩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02068 ,  H01L21/67115

Abstract: 一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，属于半导体制造加工领域。密封箱体的右侧壁上安装有气阀一、气阀二及气阀三，密封箱体的前侧壁上位于左侧设有样品取送窗口一，位于右侧设有样品取送窗口二，样品取送窗口一处密封安装有样品取送窗门一，样品取送窗口二处密封安装有样品取送窗门二，真空紫外灯水平设置并通过灯架安装在密闭箱体内顶部，真空紫外灯下方设置有工作台，气阀一经纯净气体流量控制器与储气瓶的出口连通，气阀二经水蒸气流量控制器与水蒸气发生装置的烧瓶连通，气阀三与密闭加热器的进气口连通，密闭加热器的出气口与真空泵连通。本发明对材料表面清洗及活化的操作流程简单易行，效果显著，并且可用于批量处理。

公开(公告)号：CN105977172A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610337329.6

申请日：2016-05-21

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王晨曦 ,  许继开 ,  田艳红 ,  刘艳南 ,  曾小润 ,  王春青

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L24/741

Abstract: 一种辅助手动晶圆键合装置，包括长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座，长直角弯头接头较短一端与晶圆槽A中心通孔过盈配合，晶圆槽A通过定角度合页与直线轴承C固定连接，晶圆槽B通过三根直线光轴与底座固定连接，三根弹簧分别与三根直线光轴间隙配合且位于靠近底座一端；三根直线轴承分别与三根直线光轴过盈配合且分别与三根弹簧上端固定连接，缓冲块A、缓冲块B分别与直线轴承A、直线轴承B固定连接。本发明避免了双手与晶圆片的直接接触，改善了手动晶圆键合质量。