一种针对悬臂梁状弱刚度微车刀外圆车槽的车削工艺参数优化方法

    公开(公告)号:CN114675611B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202210366496.9

    申请日:2022-04-08

    Abstract: 一种针对悬臂梁状弱刚度微车刀外圆车槽的车削工艺参数优化方法,涉及超精密弱刚度微槽车削领域,为解决现有技术中没有针对悬臂梁状弱刚度微车刀挠度变形引起的加工误差进行优化的问题。具体过程为:步骤一、分析出影响刀具挠度变形的切削力分量,建立该切削力分量的函数模型;步骤二、根据切削力分量函数模型建立挠度变形的函数模型;步骤三、根据挠度变形函数模型建立实际进给距离的函数模型;步骤四、根据实际进给距离函数模型代入挠度变形的函数模型中进行循环计算,求得最终实际进给距离的函数模型;步骤五、根据最终实际进给距离的函数模型,建立槽深误差的函数模型,通过分析各参数对槽深误差的影响规律对各参数进行优选。

    一种熔石英元件表面损伤发起与损伤增长自动评价装置与方法

    公开(公告)号:CN115326804B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202211068372.9

    申请日:2022-09-02

    Abstract: 本发明提供了一种熔石英元件表面损伤发起与损伤增长自动评价装置和方法,涉及光学元件技术领域,为解决现有技术在激光损伤阈值以及损伤增长测试过程中,需要频繁地装夹和拆卸熔石英元件对损伤进行检测,不但检测效率低,且重复安装元件的将导致误差的问题。该装置包括:X轴运动模组、Y轴运动模组、光学元件夹具组、相机及光源组和基座;X轴运动模组安装在基座上,Y轴运动模组垂直安装于X轴运动模组上,光学元件夹具组安装于Y轴运动模组上,相机及光源组的相机和背光源安装于X轴运动模组的相对两侧,相机、环形光源与背光源位于同一轴线上。本发明可实现熔石英元件表面损伤发起与损伤增长评价全流程自动化,具有较高的准确度。

    一种半球谐振子内支撑杆直径在位检测方法

    公开(公告)号:CN117405033A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311339618.6

    申请日:2023-10-16

    Abstract: 本发明提供一种半球谐振子内支撑杆直径在位检测方法,涉及超精密磨削技术领域,为解决现有的在位检测方法存在建立数学模型过于繁琐、求解过程复杂及测量精度受限的问题。包括如下步骤:S1、建立静止状态下半球谐振子支撑杆径向与激光位移传感器的相对距离与内支撑杆直径的几何关系模型;S2、旋转状态下构建半球谐振子内支撑杆轮廓变化规律模型,采用特殊点代入的方式对半球谐振子内支撑杆的径向跳动量进行求解;S3、基于得到的径向跳动量,构建旋转状态下支撑杆径向与激光位移传感器的相对距离与半球谐振子内支撑杆直径的关系模型,对半球谐振子内支撑杆直径进行求解。本发明大幅简化了现有的建模和求解方法的繁琐性,且能够实现较高的测量精度。

    一种半球谐振子最后工序干磨削降低表面粗糙度的工艺方法

    公开(公告)号:CN117245454A

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202311327638.1

    申请日:2023-10-13

    Abstract: 本发明一种半球谐振子最后工序干磨削降低表面粗糙度的工艺方法,涉及超精密加工技术领域,为解决现有磨削加工方法产生的表面损伤和亚表面损伤,限制了半球谐振子加工精度的进一步提升的问题。本发明采用陶瓷基CBN砂轮,构建砂轮的加工轨迹,并进行工件和砂轮的对刀,确定砂轮在工件坐标系中的相对位置,采用湿磨削加工工艺按加工轨迹进行磨削加工,磨削至接近预期尺寸,关闭磨削液泵,加工区域不添加任何磨削液,按加工轨迹进行精磨削,至完成超精密磨削。本发明在最后工序采用干磨削的加工方式将半球谐振子的材料去除方式从脆性去除转为塑性去除,使谐振子表面的脆性破碎明显减小,亚表面损伤显著降低,大幅度提高元件表面加工质量。

    一种基于小直径球头砂轮磨削修型的高精度-低跳动量永磁小球端抛光头加工方法

    公开(公告)号:CN117226610A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311277032.1

    申请日:2023-10-07

    Abstract: 本发明一种基于小直径球头砂轮磨削修型的高精度‑低跳动量永磁小球端抛光头加工方法,涉及超精密加工技术领域,为解决现有的永磁小球端抛光头在磁流变抛光过程中的径向跳动量过大,导致材料去除率不稳定,影响加工精度与表面质量的问题。包括:S1、将永磁半球端抛光头装夹到磨削加工机床的工件主轴上,在旋转状态下测量永磁半球端抛光头的跳动量;S2、将球头砂轮装夹到机床的工具主轴上,使用球头砂轮进行对刀测量;S3、绘制永磁半球端抛光头的二维轮廓,并根据二维轮廓及测得的永磁半球端抛光头的跳动量构建砂轮的加工路径;S4、对永磁半球端抛光头进行磨削修型。能够去除半球端永磁体烧结制作过程中产生的形状误差,进一步提高抛光精度。

    一种基于刻蚀反应的熔融石英小型回转工件超精密抛光前处理工艺方法

    公开(公告)号:CN117185669A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311276953.6

    申请日:2023-10-07

    Abstract: 本发明一种基于刻蚀反应的熔融石英小型回转工件超精密抛光前处理工艺方法,涉及超精密加工技术领域,为解决现有的熔融石英小型回转工件超精密抛光加工,抛光加工时间较长、效率低的问题。包括:S1、配制刻蚀溶液,将刻蚀溶液装入容器备用;S2、将超精密磨削后的融石英小型回转体工件装夹于加工装置的工件主轴上,所述工件主轴的下方安装有恒温水浴锅,将装有刻蚀溶液的容器置于恒温水浴锅中加热至刻蚀温度;S3、控制加工设备将工件浸入刻蚀溶液中进行刻蚀;S4、刻蚀完成后控制加工装置将工件脱离刻蚀溶液,对工件进行清洗备用,准备用于超精密抛光加工。采用本发明方法对熔融石英小型回转工件进行抛光前处理,抛光效率得到显著提升。

    一种热力-化学效应辅助永磁小球头磁流变抛光过程中磁流变抛光液补水方法

    公开(公告)号:CN117182660A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311012442.3

    申请日:2023-08-11

    Abstract: 一种热力‑化学效应辅助永磁小球头磁流变抛光过程中磁流变抛光液补水方法,涉及永磁小球头磁流变抛光领域,为解决现有的磁流变抛光过程中,磁流变抛光液中的水份会迅速蒸发,影响工件抛光的面型精度,不利于加工的持续、稳定的进行的问题。包括如下过程:配制含水质量分数为Ci的磁流变抛光液,开展热力‑化学效应辅助永磁小球头磁流变抛光实验,控制流入抛光加工区域的磁流变抛光液温度;取抛光结束后磁流变抛光液进行干燥失重实验,计算抛光过程中蒸发掉的水份质量,结合抛光时间,计算不同温度下单位时间内、单位质量的磁流变抛光液的补水质量;构建补水装置,向磁流变抛光液循环回路中进行补水。本发明为长时间、稳定的抛光加工提供了便利。

    一种耐腐蚀磁流变抛光液循环装置及循环方法

    公开(公告)号:CN116922268A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202311018150.0

    申请日:2023-08-14

    Abstract: 本发明提供一种耐腐蚀磁流变抛光液循环装置及循环方法,属于热化学抛光领域。为解决现有的磁流变抛光液循环装置易被磁流变抛光液中的碱性物质腐蚀损坏发生漏液情况,影响抛光过程的连续性和稳定性问题。存储搅拌器与万向喷头通过供给硅胶软管连通,供给硅胶软管上设有供给蠕动泵,供给硅胶软管浸没在恒温水浴锅内,万向喷头的流出口处位于磁流变抛光液回收槽上方,磁流变抛光液回收槽的集液出口与存储搅拌器通过回收硅胶软管连通,回收硅胶软管上设有回收蠕动泵。具有良好的耐腐蚀能力;有效降低碱性磁流变抛光液在外部环境中的暴露面积,阻碍磁流变抛光液中氢氧化钠与空气中的二氧化碳发生反应,减少碱性物质的损耗量,保持较高材料去除率。

    一种基于飞秒激光的光学元件表面微结构两步加工方法

    公开(公告)号:CN115446462A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211063446.X

    申请日:2022-08-31

    Abstract: 本发明提供一种基于飞秒激光的光学元件表面微结构两步加工方法,属于工程光学技术领域。为解决现有技术中缺少光学元件表面微小结构的加工方法,而采用飞秒激光对光学元件表面进行微结构加工,往往存在粗糙度较大的问题。本发明方法包括如下步骤:根据微结构加工需求绘制加工轨迹图像,将待加工光学元件装夹在加工平台上并对其进行准确定位;调整激光光路为红外飞秒激光,将所述加工轨迹图像导入加工系统,设置加工参数对光学元件进行飞秒激光加工,得到初始微结构;将加工平台移动到振镜系统下,调整激光光路为紫外飞秒激光,设置加工参数,对初始微结构进行柔性抛光,得到最终微结构。通过本发明方法得到的光学元件表面微结构具有较高的质量。

    一种熔石英元件表面损伤发起与损伤增长自动评价装置与方法

    公开(公告)号:CN115326804A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202211068372.9

    申请日:2022-09-02

    Abstract: 本发明提供了一种熔石英元件表面损伤发起与损伤增长自动评价装置和方法,涉及光学元件技术领域,为解决现有技术在激光损伤阈值以及损伤增长测试过程中,需要频繁地装夹和拆卸熔石英元件对损伤进行检测,不但检测效率低,且重复安装元件的将导致误差的问题。该装置包括:X轴运动模组、Y轴运动模组、光学元件夹具组、相机及光源组和基座;X轴运动模组安装在基座上,Y轴运动模组垂直安装于X轴运动模组上,光学元件夹具组安装于Y轴运动模组上,相机及光源组的相机和背光源安装于X轴运动模组的相对两侧,相机、环形光源与背光源位于同一轴线上。本发明可实现熔石英元件表面损伤发起与损伤增长评价全流程自动化,具有较高的准确度。

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